公开(公告)号：CN102484025B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080035234.X

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 平户达也 ,  小室浩之 ,  川俣茂

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  A61B6/022 ,  G02B27/2207 ,  G02B27/2214 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。

公开(公告)号：CN102484025A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080035234.X

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 平户达也 ,  小室浩之 ,  川俣茂

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  A61B6/022 ,  G02B27/2207 ,  G02B27/2214 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。

公开(公告)号：CN302351335S

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201230464355.8

申请日：2012-09-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 大沼满 ,  小町章 ,  片根纯一 ,  赤津光男 ,  小室浩之 ,  平岛智康

Abstract: 1.本外观设计产品的名称为：电子显微镜。2.本外观设计产品的用途为：本产品为对观察对象的实验材料进行电子射线照射，可对其他表示装置中的试验材料进行观察或分析的电子显微镜。3.本外观设计产品的设计要点为：本外观设计产品的形状。4.最能表明设计要点的图片：立体图。5.在示出各部名称参考图中，B-操作开关，C-显示灯，D-电源钥匙开关。