公开(公告)号：CN107004555A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/228 ,  H01J2237/2802

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。

公开(公告)号：CN112602164A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201880096799.5

申请日：2018-09-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 庄子美南 ,  津野夏规 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/28

Abstract: 提供一种能够以高灵敏度得到反映了试样的电子状态的对比度的电子束装置。电子束装置(1)具有：电子光学系统，向试样照射电子束，对从试样释放的释放电子进行检测；光脉冲照射系统，向试样照射光脉冲；同步处理部(17)，在电子光学系统中，与电子束的偏转信号同步地，进行释放电子的检测采样；图像信号处理部(18)，根据基于电子光学系统所检测的释放电子而输出的检测信号来形成图像；和装置控制部(19)，设定电子光学系统的控制条件，若将电子束扫描相当于图像的一个像素的试样的区域所需的时间设为单位像素时间tpixel，则装置控制部将进行释放电子的检测采样的采样频率fpixelsamp设定为比每个单位像素时间的光脉冲的照射数Nshot除以单位像素时间得到的值大。

公开(公告)号：CN109075002A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201680084947.2

申请日：2016-04-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 庄子美南 ,  津野夏规 ,  大南祐介

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供能够在大气中观察二次电子图像的电子显微镜以及观察方法。更具体地，本发明的带电粒子显微镜具有从带电粒子光学镜筒(2)内部的真空空间分离载置试样的非真空空间的隔壁(31)、上部电极(35)、载置试样(100)的下部电极(5)、对上部电极和下部电极中的至少任一方施加电压的电源(21)、调整试样与所述隔壁的间隔的试样间隙调整机构(9)、以及基于在下部电极吸收到的电流来形成所述试样图像的图像形成部(15)。利用在上部电极与下部电极之间施加电压时产生的气体分子与电子的电离碰撞的放大效果，来选择性地测量二次电子。检测方式使用测量在下部电极流过的电流值的方法。

公开(公告)号：CN112602164B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN201880096799.5

申请日：2018-09-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 庄子美南 ,  津野夏规 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/28

Abstract: 提供一种能够以高灵敏度得到反映了试样的电子状态的对比度的电子束装置。电子束装置(1)具有：电子光学系统，向试样照射电子束，对从试样释放的释放电子进行检测；光脉冲照射系统，向试样照射光脉冲；同步处理部(17)，在电子光学系统中，与电子束的偏转信号同步地，进行释放电子的检测采样；图像信号处理部(18)，根据基于电子光学系统所检测的释放电子而输出的检测信号来形成图像；和装置控制部(19)，设定电子光学系统的控制条件，若将电子束扫描相当于图像的一个像素的试样的区域所需的时间设为单位像素时间tpixel，则装置控制部将进行释放电子的检测采样的采样频率fpixelsamp设定为比每个单位像素时间的光脉冲的照射数Nshot除以单位像素时间得到的值大。

公开(公告)号：CN109075002B

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN201680084947.2

申请日：2016-04-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 庄子美南 ,  津野夏规 ,  大南祐介

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供能够在大气中观察二次电子图像的电子显微镜以及观察方法。更具体地，本发明的带电粒子显微镜具有从带电粒子光学镜筒(2)内部的真空空间分离载置试样的非真空空间的隔壁(31)、上部电极(35)、载置试样(100)的下部电极(5)、对上部电极和下部电极中的至少任一方施加电压的电源(21)、调整试样与所述隔壁的间隔的试样间隙调整机构(9)、以及基于在下部电极吸收到的电流来形成所述试样图像的图像形成部(15)。利用在上部电极与下部电极之间施加电压时产生的气体分子与电子的电离碰撞的放大效果，来选择性地测量二次电子。检测方式使用测量在下部电极流过的电流值的方法。

公开(公告)号：CN107004555B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。