公开(公告)号：CN111542908B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201880061280.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 横须贺俊之 ,  川野源 ,  黑泽浩一 ,  数见秀之 ,  李灿

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此推定样本的截面形状。

公开(公告)号：CN116964721A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202280018802.8

申请日：2022-03-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 程朝晖 ,  丰田康隆 ,  土肥英登 ,  太田洋也 ,  数见秀之

IPC: H01L21/66

Abstract: 本公开的目的在于提出一种进行使用了适当的低品质图像和高品质图像的学习的学习方法。为了实现上述目的，提出了一种学习方法，将在第一图像生成条件下生成的第一图像和在与所述第一图像生成条件不同的第二图像生成条件下生成的第二图像输入到以抑制输入图像与变换图像之间的误差的方式进行参数调整的学习器，由此，执行学习，关于所述第二图像，选择从该第二图像中提取的指标值与从所述第一图像中提取的指标值相同或处于规定的关系的图像，或者，关于所述第二图像，从与用于生成所述第一图像的第一图像生成工具不同的第二图像生成工具中输出。

公开(公告)号：CN111542908A

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201880061280.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 横须贺俊之 ,  川野源 ,  黑泽浩一 ,  数见秀之 ,  李灿

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此推定样本的截面形状。