公开(公告)号：CN116964721A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202280018802.8

申请日：2022-03-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 程朝晖 ,  丰田康隆 ,  土肥英登 ,  太田洋也 ,  数见秀之

IPC: H01L21/66

Abstract: 本公开的目的在于提出一种进行使用了适当的低品质图像和高品质图像的学习的学习方法。为了实现上述目的，提出了一种学习方法，将在第一图像生成条件下生成的第一图像和在与所述第一图像生成条件不同的第二图像生成条件下生成的第二图像输入到以抑制输入图像与变换图像之间的误差的方式进行参数调整的学习器，由此，执行学习，关于所述第二图像，选择从该第二图像中提取的指标值与从所述第一图像中提取的指标值相同或处于规定的关系的图像，或者，关于所述第二图像，从与用于生成所述第一图像的第一图像生成工具不同的第二图像生成工具中输出。

公开(公告)号：CN103733023B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201280039614.X

申请日：2012-05-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 关口智子 ,  大桥健良 ,  田中润一 ,  程朝晖 ,  常田瑠璃子 ,  川田洋挥 ,  人见圣子

IPC: G01B15/04 ,  G03F1/86 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06K9/4604 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01B15/04 ,  G01N23/22 ,  G06T7/0004 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/31754 ,  H01J2237/31796 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在用CD－SEM对于因电子射线照射而收缩的抗蚀剂进行测长时，为了高精度地估计收缩前的形状、尺寸，预先对于各种图案，准备包含电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群以及CD－SEM图像数据群、和基于它们的模型的收缩数据库，取得被测定抗蚀剂图案的CD－SEM图像（S102），将CD－SEM图像和收缩数据库进行比对（S103），估计被测定图案的收缩前的形状和尺寸，并输出（S104）。

公开(公告)号：CN103733023A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280039614.X

申请日：2012-05-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 关口智子 ,  大桥健良 ,  田中润一 ,  程朝晖 ,  常田瑠璃子 ,  川田洋挥 ,  大森圣子

IPC: G01B15/04 ,  G03F1/86 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06K9/4604 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01B15/04 ,  G01N23/22 ,  G06T7/0004 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/31754 ,  H01J2237/31796 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在用CD－SEM对于因电子射线照射而收缩的抗蚀剂进行测长时，为了高精度地估计收缩前的形状、尺寸，预先对于各种图案，准备包含电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群以及CD－SEM图像数据群、和基于它们的模型的收缩数据库，取得被测定抗蚀剂图案的CD－SEM图像（S102），将CD－SEM图像和收缩数据库进行比对（S103），估计被测定图案的收缩前的形状和尺寸，并输出（S104）。