公开(公告)号：CN103765549A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280040592.9

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中野朝则 ,  浦野琴子 ,  伊藤博之

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/244

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/153 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2826

Abstract: 为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。

公开(公告)号：CN103765549B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201280040592.9

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中野朝则 ,  浦野琴子 ,  伊藤博之

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/244

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/153 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2826

Abstract: 为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。