-
公开(公告)号：CN113661556B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN201980094928.1
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141
Abstract: 提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(342)；和设于电极固定部与磁性体芯的中心轴之间且设为基准电位的导电性的屏蔽件(320)、(321)，多个电流线的主线部沿着磁性体芯的内壁相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置，多个电极中的与磁性体芯的中心轴平行的部分相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置。
-
公开(公告)号：CN110088872B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201680091739.5
申请日：2016-12-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 中野朝则
IPC: H01J37/153
Abstract: 为了提供像差校正范围宽且容易控制并能够实现高精度的像差校正并且低成本的像差校正器，在使电子射线经过中心轴(201)的像差校正器中，具备：第一电流线群(101‑112)，在从中心轴起相隔R1的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及第二电流线群(21‑32)，在从中心轴起相隔R2的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场。
-
公开(公告)号：CN113661556A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201980094928.1
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141
Abstract: 提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(342)；和设于电极固定部与磁性体芯的中心轴之间且设为基准电位的导电性的屏蔽件(320)、(321)，多个电流线的主线部沿着磁性体芯的内壁相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置，多个电极中的与磁性体芯的中心轴平行的部分相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112088418B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201880092749.X
申请日：2018-05-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153
Abstract: 在产生多极场的绕线型的像差校正器中，缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此，构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯的内壁设有多个槽(151)～(162)，多个槽的中心(151a)～(162a)相对于磁性体芯的中心轴(150a)轴对称地配置，多个电流线的主线部分别配置于磁性体芯的多个槽的任一个。(150)和多个电流线(101)～(112)，在磁性体芯
-
公开(公告)号：CN110088872A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201680091739.5
申请日：2016-12-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 中野朝则
IPC: H01J37/153
Abstract: 为了提供像差校正范围宽且容易控制并能够实现高精度的像差校正并且低成本的像差校正器，在使电子射线经过中心轴(201)的像差校正器中，具备：第一电流线群(101-112)，在从中心轴起相隔R1的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及第二电流线群(21-32)，在从中心轴起相隔R2的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场。
-
公开(公告)号：CN103765549A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280040592.9
申请日：2012-05-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/244
CPC classification number: G21K1/00 , H01J37/153 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/2446 , H01J2237/2826
Abstract: 为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。
-
公开(公告)号：CN112088418A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201880092749.X
申请日：2018-05-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153
Abstract: 在产生多极场的绕线型的像差校正器中，缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此，构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯(150)和多个电流线(101)～(112)，在磁性体芯的内壁设有多个槽(151)～(162)，多个槽的中心(151a)～(162a)相对于磁性体芯的中心轴(150a)轴对称地配置，多个电流线的主线部分别配置于磁性体芯的多个槽的任一个。
-
公开(公告)号：CN103765549B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201280040592.9
申请日：2012-05-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/244
CPC classification number: G21K1/00 , H01J37/153 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/2446 , H01J2237/2826
Abstract: 为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.033 seconds)
