-
公开(公告)号：CN118476004A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202280087220.5
申请日：2022-01-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 本发明提供一种能够使用通过模拟结果的机器学习求出的图像预测模型来导出最佳观察条件的带电粒子束检查系统。具备：带电粒子束照射装置，其取得试样的图像；以及观察条件搜索装置，其搜索所述带电粒子束照射装置的观察条件，并控制由所述带电粒子束照射装置进行的图像取得，所述观察条件搜索装置取得包含实施了使用训练数据的学习的学习器的模块，所述训练数据包括通过将包含多个第一装置条件和多个第一试样条件的第一图像生成条件输入到模拟器而得到的多个模拟图像和所述第一图像生成条件，通过对图像生成工具设定多个第二装置条件，取得从所述图像生成工具输出的多个输出图像，将通过对所述学习器输入所述第一试样条件和所述第二装置条件而得到的图像与所述多个输出图像进行对照，基于该对照结果来生成第二试样条件。
Search Results
1
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
