公开(公告)号：CN101680106B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200880008728.1

申请日：2008-05-09

Applicant: 株式会社昆腾14

Inventor： 蕨迫光纪 ,  岛田寿一 ,  越田信义 ,  伯尔拿德·杰路知 ,  兼堀惠一

IPC: C25F3/12 ,  B23H3/06 ,  B23H3/08 ,  C25D11/32

CPC classification number: B23H3/06 ,  B23H3/08 ,  C25D5/022 ,  C25D5/04 ,  C25D17/001 ,  C25D17/10 ,  C25D17/12 ,  C25F3/12 ,  C25F3/14 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 以硅基材(1)作为阳极、以微细的铂部件(2)作为阴极，在它们之间夹有电解液(4)的状况下，在混合存在多孔质形成和电解研磨的两模式的条件下以恒流模式进行阳极氧化。伴随着硅的溶解，铂部件(2)嵌入硅基材(1)中，进行钻孔、切断、单侧按压等的加工。由于使用能量少，能在室温下加工，所以加工表面的结晶品质不会降低。由此，无须使用以往的太阳能电池用硅基材的切断等的加工中的材料消耗大的机械方法和能量单价高的激光等，且不会在加工面上残留结晶损伤，能够高效率地进行高精度的加工。

公开(公告)号：CN101680106A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880008728.1

申请日：2008-05-09

Applicant: 株式会社昆腾14

Inventor： 蕨迫光纪 ,  岛田寿一 ,  越田信义 ,  伯尔拿德·杰路知 ,  兼堀惠一

IPC: C25F3/12 ,  B23H3/06 ,  B23H3/08 ,  C25D11/32

CPC classification number: B23H3/06 ,  B23H3/08 ,  C25D5/022 ,  C25D5/04 ,  C25D17/001 ,  C25D17/10 ,  C25D17/12 ,  C25F3/12 ,  C25F3/14 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 以硅基材(1)作为阳极、以微细的铂部件(2)作为阴极，在它们之间夹有电解液(4)的状况下，在混合存在多孔质形成和电解研磨的两模式的条件下以恒流模式进行阳极氧化。伴随着硅的溶解，铂部件(2)嵌入硅基材(1)中，进行钻孔、切断、单侧按压等的加工。由于使用能量少，能在室温下加工，所以加工表面的结晶品质不会降低。由此，无须使用以往的太阳能电池用硅基材的切断等的加工中的材料消耗大的机械方法和能量单价高的激光等，且不会在加工面上残留结晶损伤，能够高效率地进行高精度的加工。