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公开(公告)号：CN102024657A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010282645.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。
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公开(公告)号：CN101764020A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262401.3
申请日：2009-12-18
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。
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公开(公告)号：CN102820865B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201210188595.9
申请日：2012-06-08
IPC: H03H3/02
Abstract: 在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。
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公开(公告)号：CN102024657B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201010282645.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。
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公开(公告)号：CN101764020B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200910262401.3
申请日：2009-12-18
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102820865A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210188595.9
申请日：2012-06-08
IPC: H03H3/02
Abstract: 在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。
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公开(公告)号：CN101764021A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262405.1
申请日：2009-12-18
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01J27/14
Abstract: 本发明提供一种离子管及离子束的引出方法，离子管排列有多个离子束引出孔，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极和阳极构成的等离子体生成构件，以及从等离子体中引出离子束的栅极，栅极沿长边方向具有多个或者一连串的离子束引出孔，以多个或者一连串的离子束引出孔的中心部为原点，以长边方向为x轴方向，以离子束射出方向为z轴正方向，该离子管还具有：第一磁石，其配置于多个或者一连串的离子束引出孔的周围，并对多个或者一连串的离子束引出孔施加z轴正方向的磁场；以及第二磁石，其配置于多个或者一连串的离子束引出孔的端部，对端部附近施加x轴原点方向的磁场。
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