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公开(公告)号：CN107852146B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201680039682.4
申请日：2016-07-05
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 本发明的水晶振动片的特征在于，具备：AT切割型的水晶片，呈板状，在从主面的法线方向观察时呈矩形状；和第一外部电极及第二外部电极，它们在上述主面上设置为在上述主面的短边延伸的短边方向上排列，上述主面的长边与上述水晶片的Z'轴实质上平行，上述主面的短边与上述水晶片的X轴实质上平行，上述水晶片的主振动的频率为20.0MHz以上60.0MHz以下，在上述第一外部电极与上述第二外部电极的在上述短边方向上的间隔为P(mm)、上述水晶片的主振动的频率为F(MHz)的情况下，0.050≤P≤－0.0047×F+1.728成立。
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公开(公告)号：CN107710612B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201680036889.6
申请日：2016-07-05
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/19
摘要： 本发明所涉及的石英片的特征在于，主面的长边与石英片的Z'轴实质上平行，主面的短边与石英片的X轴实质上平行，石英片的主振动的频率在28.5MHz以上30.5MHz以下，石英片包含包括主面的中央的第一区域、在长边延伸的长边方向的两侧与第一区域邻接的第二区域以及第三区域、及在短边延伸的短边方向的两侧与第一区域邻接的第四区域以及第五区域，第一区域的厚度实质上均匀，第二区域的厚度以及第三区域的厚度比第一区域的厚度小，以及/或者，第四区域的厚度以及第五区域的厚度比第一区域的厚度小，在短边的长度为W，厚度为T的情况下，16.18≤W/T≤16.97成立。
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公开(公告)号：CN108352821A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680058556.3
申请日：2016-10-07
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/19
CPC分类号： H03H9/19 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/338 , H03H9/131
摘要： 本发明涉及水晶振动元件、以及具备该水晶振动元件的水晶振子。具备：水晶片(11)，其具有规定的结晶方位且在俯视时具有第一方向以及第二方向；以及激励电极(14a、14b)，其分别设置在水晶片(11)的表背面以便在施加交变电场时对水晶片(11)激励厚度剪切振动，水晶片(11)中的以厚度剪切振动为主要振动的振动分布具有在水晶片(11)的第二方向上呈带状地延伸的振动区域(40)、和在水晶片(11)的第一方向上分别与振动区域(40)的两侧邻接的非振动区域(50)。
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公开(公告)号：CN105210295B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201480026898.8
申请日：2014-05-01
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/21 , H01L41/0478
摘要： 本发明提供可进一步减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在基部(2)上，在X方向并排有向Y方向延伸的多个音叉臂(3～5)，音叉臂(3～5)具有在作为简并半导体的Si层(11)上层叠有氧化硅层(12)，在氧化硅层(12)上设置有激发部(13)的构造，在将Si层(11)的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(12)的厚度的总和设为T2、将在Si层(11)上未设置有氧化硅层(12)的情况下的频率温度系数TCF设为x时，厚度比T2/(T1+T2)成为(‑0.0002x2‑0.0136x+0.0014)±0.05的范围内。
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公开(公告)号：CN107112973A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580072237.3
申请日：2015-09-07
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 本发明提供压电振动部件及其制造方法。提高将压电振子密闭封存于基板的基板与粘合层之间的粘合力。压电振动部件(40)具备：基板(10)，其具有安装压电振子(20)的主面(11)；盖(30)，其具有与主面(11)对置地开口的凹部(31)；以及粘合层(53)，其接合基板(10)与盖(30)，将压电振子(20)密闭封存于凹部(31)与主面(11)之间的空间。粘合层(53)形成为从基板(10)的主面(11)直至侧面(18)，以便包覆基板(10)的至少一部分。
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公开(公告)号：CN105453289A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480038945.0
申请日：2014-07-02
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/257 , H01L41/31 , H02N2/00
CPC分类号： H01L41/092 , H01L41/0926 , H01L41/0953 , H01L41/257 , H01L41/313
摘要： 提供能使变位扩大率较大的致动器。致动器1具备：板状的弹性体2、和使该板状的弹性体2变位的驱动构件，板状的弹性体2在从第1主面侧俯视观察的情况下具有沿着圆弧状的中心线8延伸的形状，以将该圆弧状的中心线8作为中心轴的扭转动作进行变形。
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公开(公告)号：CN103843249B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201380003284.3
申请日：2013-04-02
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/19 , H03H9/02157 , H03H9/132 , H03H9/172
摘要： 本发明提供一种具有低的CI值的水晶振动装置。水晶振动装置（1）具备水晶振子（11）。水晶振子（11）具有水晶板（12）、第一电极（13）以及第二电极（14）。水晶板（12）的俯视形状为矩形。水晶板（12）具有从中央朝向外侧变薄的形状。第一电极（13）配置于水晶板（12）的一主面（12a）上。第二电极（14）配置于水晶板（12）的另一主面（12b）上。第二电极（14）隔着水晶板（12）与第一电极（13）对置。水晶振子（11）以厚度切变振动模式振动。第一电极（13）以及第二电极（14）的各自的俯视形状为椭圆形或者圆形。
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公开(公告)号：CN105210295A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480026898.8
申请日：2014-05-01
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/21 , H01L41/0478
摘要： 本发明提供可进一步减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在基部(2)上，在X方向并排有向Y方向延伸的多个音叉臂(3～5)，音叉臂(3～5)具有在作为简并半导体的Si层(11)上层叠有氧化硅层(12)，在氧化硅层(12)上设置有激发部(13)的构造，在将Si层(11)的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(12)的厚度的总和设为T2、将在Si层(11)上未设置有氧化硅层(12)的情况下的频率温度系数TCF设为x时，厚度比T2/(T1+T2)成为(-0.0002x2-0.0136x+0.0014)±0.05的范围内。
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公开(公告)号：CN103843249A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201380003284.3
申请日：2013-04-02
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/19 , H03H9/02157 , H03H9/132 , H03H9/172
摘要： 本发明提供一种具有低的CI值的水晶振动装置。水晶振动装置（1）具备水晶振子（11）。水晶振子（11）具有水晶板（12）、第一电极（13）以及第二电极（14）。水晶板（12）的俯视形状为矩形。水晶板（12）具有从中央朝向外侧变薄的形状。第一电极（13）配置于水晶板（12）的一主面（12a）上。第二电极（14）配置于水晶板（12）的另一主面（12b）上。第二电极（14）隔着水晶板（12）与第一电极（13）对置。水晶振子（11）以厚度切变振动模式振动。第一电极（13）以及第二电极（14）的各自的俯视形状为椭圆形或者圆形。
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公开(公告)号：CN101884168B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN200880118497.X
申请日：2008-10-14
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/1021
摘要： 本发明提供一种廉价的压电振动部件，其不会导致密封结构的成本和部件数目的增多，难以产生因温度变化引起的水分附着而造成的振动特性的劣化。在封装体(2)内收纳有压电振动元件(10)，且被密封，在压电振动元件(10)的体积为Ve，从封装体(2)内的密封空间的容积减去压电振动元件(10)的体积Ve后得到的内部空间容积为Vp时，Ve/Vp满足下述的式(1)的压电振动部件(1)。式(1)：Ve/Vp＞(Se×M)/{(Sp+Se)×2.72}其中，Se是压电振动元件的表面积，Sp表示上述封装体的内部除去压电振动元件后的状态下的封装体内部空间的表面积；M是指在使用温度为T，相对湿度为100％RH的情况下的每单位容积的最大水分质量(ug/mm3)。
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