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公开(公告)号：CN109892012B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201880003963.3
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H05B33/10 , H01L21/3065 , H01L51/50 , H05B33/04
Abstract: 本发明的元件结构体的制造方法包括：树脂材形成工序，在具有凹凸的基板上，以至少凸部的周边比平坦部更厚的方式形成由有机物构成的树脂材；和树脂材蚀刻工序，残留位于所述凸部的周边的一部分所述树脂材，并且去除所述平坦部的该树脂材。在所述树脂材蚀刻工序中，检测对所述树脂材进行蚀刻处理的条件中的特定条件的变化，并且将检测出的检测结果用作该蚀刻处理的终点。
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公开(公告)号：CN110268091B
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN201880010348.5
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。
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公开(公告)号：CN111748793A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010211775.9
申请日：2020-03-24
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C16/448 , H05B3/02 , H05B3/12 , H05B3/18 , H05B3/40 , C23C8/34 , B01J27/22 , B01J27/224
Abstract: 本发明提供能够实现长寿命化的电热丝及其制造方法以及使用了电热丝的真空处理装置。本发明的一个方式所涉及的电热丝具有芯材和覆盖层。所述芯材在表面形成有钽的碳化物。所述覆盖层在表面形成有钽的硼化物和硼中的至少一者，覆盖所述芯材的表面。
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公开(公告)号：CN110268091A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201880010348.5
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109892012A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201880003963.3
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H05B33/10 , H01L21/3065 , H01L51/50 , H05B33/04
Abstract: 本发明的元件结构体的制造方法包括：树脂材形成工序，在具有凹凸的基板上，以至少凸部的周边比平坦部更厚的方式形成由有机物构成的树脂材；和树脂材蚀刻工序，残留位于所述凸部的周边的一部分所述树脂材，并且去除所述平坦部的该树脂材。在所述树脂材蚀刻工序中，检测对所述树脂材进行蚀刻处理的条件中的特定条件的变化，并且将检测出的检测结果用作该蚀刻处理的终点。
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公开(公告)号：CN113755787A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110564780.2
申请日：2021-05-24
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够在表面均匀地形成碳化钽的通电加热丝的制造方法以及制造装置。在本发明的一个方式所涉及的通电加热丝的制造方法中，向设置有钽丝的腔室导入乙炔气体，所述钽丝具有两个端部并以在垂直方向上折回的方式悬挂，一边控制导入所述腔室内的所述乙炔气体的供给量而使所述腔室的内压变化，一边通电加热所述钽丝，对所述钽丝的表面进行碳化处理。
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公开(公告)号：CN107636192B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201680031933.4
申请日：2016-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够稳定地形成具有所期望的膜质和图案形状的树脂层的成膜方法和成膜装置。本发明一方式所涉及的成膜方法在维持在减压气氛的腔室内，将基板(W)冷却到第1温度以下，从气体供给部(13)向基板(W)的表面供给原料气体(G)，其中所述原料气体(G)含有能量线硬化性树脂，且在上述第1温度以下能够液化，将掩膜部件(16)与基板(W)的表面相向配置，其中所述掩膜部件(16)被维持在比上述第1温度高的第2温度，且具有规定的开口图案，向基板(W)的表面照射能量线。
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公开(公告)号：CN111748793B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202010211775.9
申请日：2020-03-24
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C16/448 , H05B3/02 , H05B3/12 , H05B3/18 , H05B3/40 , C23C8/34 , B01J27/22 , B01J27/224
Abstract: 本发明提供能够实现长寿命化的电热丝及其制造方法以及使用了电热丝的真空处理装置。本发明的一个方式所涉及的电热丝具有芯材和覆盖层。所述芯材在表面形成有钽的碳化物。所述覆盖层在表面形成有钽的硼化物和硼中的至少一者，覆盖所述芯材的表面。
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