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公开(公告)号:CN107847619A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201780002344.8
申请日:2017-05-11
Applicant: 株式会社爱发科 , 爱发科低温泵株式会社
Abstract: 本发明的无菌液化气体制备装置具有:液化气体储存罐;原料气体供给装置,用于向所述液化气体储存罐供给原料气体;冷却装置,对所述液化气体储存罐内进行冷却,以使所述原料气体进行液化;供给管道,用于连接所述原料气体供给装置和所述液化气体储存罐;灭菌过滤器,被设置在所述供给管道上;灭菌装置,通过高温饱和水蒸气对位于比所述灭菌过滤器更下游部分的灭菌区域进行加热灭菌;和干燥装置,通过去除经所述加热灭菌生成的水分而使所述灭菌区域干燥。