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公开(公告)号：CN1930425A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580005660.8
申请日：2005-08-24
申请人： 爱发科低温泵株式会社 , 株式会社爱发科
CPC分类号： C09K5/04 , B22F1/0003 , C09K5/14 , F25B9/14 , F25B2309/003
摘要： 本发明提供一种使用蓄冷材的蓄冷器及克莱欧泵，该蓄冷材是在对环境影响较大的铅以外，满足作为蓄冷材的诸条件(比热、热传导率、加工性、强度、硬度、化学稳定性、低成本)。本发明的蓄冷器(14)是在制冷剂气体通过的内部通路收容有在与制冷剂气体之间进行热交换的蓄冷材(16)。蓄冷材(16)是由Sn、Bi－Sn合金、Ag－Sn合金的任一种所构成，且形成为球状，在蓄冷器(14)的内部通路充填有多个的该等球状的蓄冷材(16)。
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公开(公告)号：CN102171455B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN200980138585.0
申请日：2009-11-12
申请人： 爱发科低温泵株式会社 , 株式会社爱发科
摘要： 本发明的目的在于，提供一种能够抑制臭氧在低温泵中的存留的真空排气装置、真空处理装置以及真空排气方法。为达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空排气装置(1)包括：真空处理用的处理室(11)泵单元，该泵单元具有冷捕集器(161)与排气通路(13A)，所述冷捕集器(161)能够捕集排出气体，所述排气通路(13A)用于将所述排出气体从所述处理室(11)导向所述冷捕集器(161)；加热单元(20)，其使从所述处理室(11)流向所述冷捕集器(161)的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路(13A)中产生热分解。
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公开(公告)号：CN102171455A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200980138585.0
申请日：2009-11-12
申请人： 爱发科低温泵株式会社 , 株式会社爱发科
摘要： 本发明的目的在于，提供一种能够抑制臭氧在低温泵中的存留的真空排气装置、真空处理装置以及真空排气方法。为达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空排气装置(1)包括：真空处理用的处理室(11)泵单元，该泵单元具有冷捕集器(161)与排气通路(13A)，所述冷捕集器(161)能够捕集排出气体，所述排气通路(13A)用于将所述排出气体从所述处理室(11)导向所述冷捕集器(161)；加热单元(20)，其使从所述处理室(11)流向所述冷捕集器(161)的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路(13A)中产生热分解。
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公开(公告)号：CN107847619A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201780002344.8
申请日：2017-05-11
申请人： 株式会社爱发科 , 爱发科低温泵株式会社
摘要： 本发明的无菌液化气体制备装置具有：液化气体储存罐；原料气体供给装置，用于向所述液化气体储存罐供给原料气体；冷却装置，对所述液化气体储存罐内进行冷却，以使所述原料气体进行液化；供给管道，用于连接所述原料气体供给装置和所述液化气体储存罐；灭菌过滤器，被设置在所述供给管道上；灭菌装置，通过高温饱和水蒸气对位于比所述灭菌过滤器更下游部分的灭菌区域进行加热灭菌；和干燥装置，通过去除经所述加热灭菌生成的水分而使所述灭菌区域干燥。
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公开(公告)号：CN100458310C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200580005660.8
申请日：2005-08-24
申请人： 爱发科低温泵株式会社 , 株式会社爱发科
CPC分类号： C09K5/04 , B22F1/0003 , C09K5/14 , F25B9/14 , F25B2309/003
摘要： 本发明提供一种使用蓄冷材的蓄冷器及克莱欧泵，该蓄冷材是在对环境影响较大的铅以外，满足作为蓄冷材的诸条件(比热、热传导率、加工性、强度、硬度、化学稳定性、低成本)。本发明的蓄冷器(14)是在制冷剂气体通过的内部通路收容有在与制冷剂气体之间进行热交换的蓄冷材(16)。蓄冷材(16)是由Sn、Bi-Sn合金、Ag-Sn合金的任一种所构成，且形成为球状，在蓄冷器(14)的内部通路充填有多个的该等球状的蓄冷材(16)。
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公开(公告)号：CN107304760B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710257499.8
申请日：2017-04-19
申请人： 爱发科低温泵株式会社
摘要： 本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。
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公开(公告)号：CN107029445B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201610976901.3
申请日：2016-11-07
申请人： 爱发科低温泵株式会社
IPC分类号： B01D8/00
摘要： 本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。冷却装置(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件(11)中，在从凝结面(11b)朝向吸热面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。
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公开(公告)号：CN107029445A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201610976901.3
申请日：2016-11-07
申请人： 爱发科低温泵株式会社
IPC分类号： B01D8/00
摘要： 本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。冷却装置(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件(11)中，在从凝结面(11b)朝向吸热面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。
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公开(公告)号：CN103898453A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310326007.8
申请日：2013-07-30
申请人： 爱发科低温泵株式会社
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置（RU1）具有冷冻机（2）和由冷冻机冷却的冷却面板（1），使冷却面板的主面（1a）与处理对象（S）接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板设置在处理室内，在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头（21）与冷却面板接触，通过热传递冷却冷却面板。
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公开(公告)号：CN107488835A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710442073.X
申请日：2017-06-13
申请人： 爱发科低温泵株式会社
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/568
摘要： 本发明提供一种能够在真空气氛的腔室内可靠地边冷却边运送被传送物的具有结构简单的冷却结构的传送装置。具有卷绕在至少两个辊(20、30)上、外表面上载置有基板(S)并环绕行进的传送带(10)。以位于各辊间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被传送物的一侧的部分为上带部(Uv)，另一侧的部分为下带部(Dv)，以上带部和下带部相对的方向为上下方向，在上带部的下表面和下带部的上下表面中的至少一面上，在上下方向隔规定间隔相向配置长度大于等于传送带的宽度的冷却面板(40)。还具有对冷却面板进行冷却的冷却装置(5)，以及向由冷却面板和传送带所限定的空间(60)中提供惰性气体的气体供给装置(70)。
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