公开(公告)号：CN101421823B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200780013594.8

申请日：2007-12-27

Applicant: 株式会社理光 ,  株式会社克莱斯泰克

Inventor： 宫田弘幸 ,  宫崎武司 ,  小林一彦 ,  林国人

IPC: H01L21/027 ,  G01N1/00 ,  G03F7/20 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/282 ,  Y10T428/24479

Abstract: 本发明公开了一种照射电子束的照射系统的像散的评估方法。在该方法中，由多个(例如四个)同心圆组成的图形图案形成于参考样品WP上，且基于通过将该电子束扫描在参考样品WP上得到的电子信号而形成图像(扫描图像)。在该扫描图像中，图像在纵向平行于像散发生方向的区域内具有模糊，且该模糊的大小取决于像散的大小。因此，基于得到的扫描图像可以检测照射设备的照射系统的像散的方向和大小。

公开(公告)号：CN118663898A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410267818.3

申请日：2024-03-08

Applicant: 株式会社理光

Inventor： 柴圭将 ,  山口大地 ,  宫田弘幸 ,  大谷直生 ,  宫田新平

IPC: B22F3/10 ,  B22F3/14 ,  B22F10/14 ,  B22F10/64 ,  B33Y40/20

Abstract: 烧结体制造方法包括在气体吸附剂存在下烧结含有金属的烧结前体，所述气体吸附剂在金属不被氧化的温度下被活化。

公开(公告)号：CN112172140A

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN202010636310.8

申请日：2020-07-03

Applicant: 株式会社理光

Inventor： 十龟淳次郎 ,  宫崎浩辅 ,  横山拓海 ,  佐藤慎一郎 ,  佐佐木隆文 ,  水田治 ,  宫田弘幸 ,  大谷直生

IPC: B29C64/165 ,  B29C64/20 ,  B29C64/245 ,  B29C64/393 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  B33Y70/10

Abstract: 提供一种用于制造三维物体的粉末材料，其包括：基体材料；树脂；和树脂粒子，其中在10‑2Pa或更低的真空中在450摄氏度加热2小时之后粉末材料中残留的碳量W(质量％)满足下式：W(质量％)

公开(公告)号：CN101421823A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200780013594.8

申请日：2007-12-27

Applicant: 株式会社理光 ,  株式会社克莱斯泰克

Inventor： 宫田弘幸 ,  宫崎武司 ,  小林一彦 ,  林国人

IPC: H01L21/027 ,  G01N1/00 ,  G03F7/20 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/282 ,  Y10T428/24479

Abstract: 本发明公开了一种照射电子束的照射系统的像散的评估方法。在该方法中，由多个(例如四个)同心圆组成的图形图案形成于参考样品WP上，且基于通过将该电子束扫描在参考样品WP上得到的电子信号而形成图像(扫描图像)。在该扫描图像中，图像在纵向平行于像散发生方向的区域内具有模糊，且该模糊的大小取决于像散的大小。因此，基于得到的扫描图像可以检测照射设备的照射系统的像散的方向和大小。