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公开(公告)号：CN103688333B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201280019242.4
申请日：2012-02-17
申请人： 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
摘要： 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号：CN103688333A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280019242.4
申请日：2012-02-17
申请人： 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
摘要： 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号：CN102759540A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210135414.6
申请日：2007-02-08
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： G01N23/225 , G03B42/00
CPC分类号： G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
摘要： 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN1589490A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN02822954.1
申请日：2002-10-04
申请人： 应用材料以色列有限公司
发明人： 艾舍·珀尔
CPC分类号： H01J37/304 , H01J37/1471 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/1501 , H01J2237/1532 , H01J2237/216 , H01J2237/221
摘要： 本发明提供了一种方法，用于自动对准带电颗粒束与孔。从而引入散焦并基于图象移动计算的信号施加到偏转单元。进而提供了用于散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于产生的一组帧估计清晰度。
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公开(公告)号：CN106062917A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580006977.7
申请日：2015-06-17
申请人： 智能病毒成像公司
IPC分类号： H01J37/153
CPC分类号： H01J37/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/223
摘要： 该方法用于透镜系统的自动像散校正。在透镜组的第一消像散器设置下，提供未被聚焦的第一图像(96)。计算装置计算相应的第一傅立叶光谱图像(312)。通过计算第一矢量(132)和第二矢量(134)，确定傅立叶光谱图像(128，130，312)的像素的分布和方向。将第一矢量(132)与第二矢量(134)相比较。将透镜系统从第一消像散器设置改变为第二消像散器设置以提供第二图像(98)。计算相应的傅立叶光谱图像(314)。通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像(314)的像素的分布和方向。将第三矢量与第四矢量相比较。选择具有最低的矢量比率的图像。
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公开(公告)号：CN103703537B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201280035812.9
申请日：2012-07-19
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
摘要： 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
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公开(公告)号：CN102696091A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201080055374.3
申请日：2010-11-12
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 法兰克·辛克莱 , 维克多·M·本夫尼斯特 , 史费特那·瑞都凡诺 , 詹姆士·S·贝福
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/153 , H01J2237/1532
摘要： 一种用于操控具有主轴(7)的离子束(104)的系统，其包含具有第一线圈以及第二线圈的上部部件，所述线圈大体配置于所述上部部件的不同区域中且经组态以独立于彼此而分别传导第一电流(808或810)以及第二电流(808或810)。下部部件包含第三线圈以及第四线圈，所述线圈大体配置成与各别第一线圈以及第二线圈相对且经组态以独立于彼此而分别传导第三电流(812或814)以及第四电流(814或812，分别地)。透镜间隙(306)界定于所述上部部件与所述下部部件之间，且经组态以传输所述离子束，其中所述第一电流至所述第四电流产生45度四极场，所述四极场围绕所述离子束的主轴在所述离子束上施加旋转力(F5，F6)。
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公开(公告)号：CN102680507A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210134252.4
申请日：2007-02-08
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： G01N23/225 , G03B42/00
CPC分类号： G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
摘要： 本发明涉及扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法。在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN101025402B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200710007073.3
申请日：2007-02-08
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： G01N23/225 , G03B42/00
CPC分类号： G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
摘要： 在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN1639830A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN02822953.3
申请日：2002-10-04
申请人： 应用材料以色列有限公司
发明人： 德洛·希米什
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/304 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/1471 , H01J37/263 , H01J37/304 , H01J2237/045 , H01J2237/1501 , H01J2237/1532 , H01J2237/216 , H01J2237/221
摘要： 本发明提供了用于自动对准带电颗粒束与孔的方法。从而，束被偏转向孔的两个边缘。从获得消光所需的信号计算一校正偏转场。进而，提供了用于自动对准带电颗粒束与光轴的方法。从而引入散焦，且基于引入的图象移动计算的一信号施加到偏转单元。进而，提供了散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于测量的帧的一个顺序估计清晰度。
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