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公开(公告)号：CN101038447A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710088653.X
申请日：2007-03-13
申请人： 株式会社理光
发明人： 村山升
CPC分类号： H01L21/67742
摘要： 本发明的目的在于，实现简化电子束描画装置用的搬送装置。解决手段是：所述装置含有具备使搬送装置(100)可在水平方向上相互滑动的第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)的多级滑块(50)、分别将第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)向着X轴方向驱动的同步机构臂(70)而构成。利用开闭单元(60)使同步机构臂(70)伸长或伸缩，藉此汇总驱动多个第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)。由此，不必对多个第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)个别进行控制，能够使搬送装置(100)的驱动简单化。
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公开(公告)号：CN100411037C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200610004545.5
申请日：2003-08-01
申请人： 株式会社理光
IPC分类号： G11B7/26
摘要： 一种光盘制造方法。当用环状照明装置(301)对粘合型光盘(122)的内周侧透明区域照明，用摄象装置(203)摄象，并检查该检查区域(308)的粘接剂延展质量时，当检查区域内侧直径为S1，检查区域外侧直径为S2，所述环状照明装置(301)的照明部内侧直径为L1，所述环状照明装置(301)的照明部外侧直径为L2，所述环状照明装置(301)与所述光盘(122)间的距离为LD，所述摄象装置上的第一主点位置HI与所述光盘间的距离为HD时，利用S2×(1-LD/HD)＜L1＜S1×(1+LD/HD)，L2＞S2×(1+LD/HD)对各部件的位置关系实施设定，可以将环状照明装置(308)的影象不出现在检查区域(308)中，从而可以对其整体实施均匀的照明。
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公开(公告)号：CN101506885B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200780031503.3
申请日：2007-08-28
IPC分类号： G11B7/26 , G11B9/10 , G11B5/84 , G03F7/20 , H01J37/317
CPC分类号： G11B7/261 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , G11B9/10 , H01J37/3174
摘要： 本发明公开了一种绘制方法和装置，电子束被照射到物体表面上，以在物体表面上沿着扫描线绘制图案。通过物体相对于电子束的相对运动，由电子束在物体表面上沿着扫描线形成图案。沿着与扫描线相交的第一方向和与第一方向相反的第二方向中的一个方向，以不导致在物体表面上形成图案的速度偏转电子束，而不进行中断，使得被偏转的电子束的束点定位在物体表面上的其中一条扫描线上。绘制步骤和偏转步骤交替重复进行。
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公开(公告)号：CN1198277C
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02141868.3
申请日：2002-08-27
申请人： 株式会社理光
IPC分类号： G11B7/26
CPC分类号： B29C66/9121 , B29C65/1406 , B29C65/1483 , B29C65/4845 , B29C65/78 , B29C65/7847 , B29C66/02 , B29C66/1122 , B29C66/342 , B29C66/452 , B29C66/71 , B29C66/723 , B29C66/73143 , B29C66/73341 , B29C66/8161 , B29C66/8242 , B29C66/8322 , B29C66/9141 , B29C66/91431 , B29C66/961 , B29L2017/005 , B32B37/003 , B32B37/1284 , B32B2429/02 , G11B7/265 , Y10T156/1702 , Y10T156/1744 , B29C65/00 , B29K2069/00
摘要： 一种制造第一和第二元件通过液体粘合到一起而形成的板状体的方法，该方法包括以下步骤：(a)将液体施加到第一元件的一个表面上；以及(b)第二元件叠置到第一元件上时在液体与第二元件接触的瞬间将气体供给到第一和第二元件之间。
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公开(公告)号：CN1404050A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN02141868.3
申请日：2002-08-27
申请人： 株式会社理光
IPC分类号： G11B7/26
CPC分类号： B29C66/9121 , B29C65/1406 , B29C65/1483 , B29C65/4845 , B29C65/78 , B29C65/7847 , B29C66/02 , B29C66/1122 , B29C66/342 , B29C66/452 , B29C66/71 , B29C66/723 , B29C66/73143 , B29C66/73341 , B29C66/8161 , B29C66/8242 , B29C66/8322 , B29C66/9141 , B29C66/91431 , B29C66/961 , B29L2017/005 , B32B37/003 , B32B37/1284 , B32B2429/02 , G11B7/265 , Y10T156/1702 , Y10T156/1744 , B29C65/00 , B29K2069/00
摘要： 一种制造第一和第二元件通过液体粘合到一起而形成的板状体的方法，该方法包括以下步骤：(a)将液体施加到第一元件的一个表面上；以及(b)第二元件叠置到第一元件上时在液体与第二元件接触的瞬间将气体供给到第一和第二元件之间。
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公开(公告)号：CN101506885A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200780031503.3
申请日：2007-08-28
IPC分类号： G11B7/26 , G11B9/10 , G11B5/84 , G03F7/20 , H01J37/317
CPC分类号： G11B7/261 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , G11B9/10 , H01J37/3174
摘要： 本发明公开了一种绘制方法和装置，电子束被照射到物体表面上，以在物体表面上沿着扫描线绘制图案。通过物体相对于电子束的相对运动，由电子束在物体表面上沿着扫描线形成图案。沿着与扫描线相交的第一方向和与第一方向相反的第二方向中的一个方向，以不导致在物体表面上形成图案的速度偏转电子束，而不进行中断，使得被偏转的电子束的束点定位在物体表面上的其中一条扫描线上。绘制步骤和偏转步骤交替重复进行。
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公开(公告)号：CN1822153A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610004545.5
申请日：2003-08-01
申请人： 株式会社理光
IPC分类号： G11B7/26
摘要： 一种光盘制造方法。当用环状照明装置(301)对粘合型光盘(122)的内周侧透明区域照明，用照相装置(203)照相，并检查该检查区域(308)的粘接剂延展质量时，当检查区域内侧直径为S1，检查区域外侧直径为S2，所述环状照明装置(301)的照明部内侧直径为L1，所述环状照明装置(301)的照明部外侧直径为L2，所述环状照明装置(301)与所述光盘(122)间的距离为LD，所述照相装置上的第一主点位置HI与所述光盘间的距离为HD时，利用S2×(1－LD/HD)＜L1＜S1×(1+LD/HD)，L2＞S2×(1+LD/HD)对各部件的位置关系实施设定，可以使环状照明装置(308)的影象不出现在检查区域(308)中，从而可以对其整体实施均匀的照明。
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公开(公告)号：CN1267918C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN03125561.2
申请日：2003-08-01
申请人： 株式会社理光
IPC分类号： G11B7/26
摘要： 一种光盘检查装置和光盘检查方法。当用环状照明装置(301)对粘合型光盘(122)的内周侧透明区域照明，用照相装置(203)照相，并检查该检查区域(308)的粘接剂延展质量时，当检查区域内侧直径为S1，检查区域外侧直径为S2，所述环状照明装置(301)的照明部内侧直径为L1，所述环状照明装置(301)的照明部外侧直径为L2，所述环状照明装置(301)与所述光盘(122)间的距离为LD，所述照相装置上的第一主点位置HI与所述光盘间的距离为HD时，利用S2×(1-LD/HD)＜L1＜S1×(1+LD/HD)，L2＞S2×(1+LD/HD)对各部件的位置关系实施设定，可以将环状照明装置(308)的影象不出现在检查区域(308)中，从而可以对其整体实施均匀的照明。
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公开(公告)号：CN1495748A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN03125561.2
申请日：2003-08-01
申请人： 株式会社理光
IPC分类号： G11B7/26
摘要： 一种光盘检查装置、光盘检查和制造方法和光盘。当用环状照明装置(301)对粘合型光盘(122)的内周侧透明区域照明，用照相装置(203)照相，并检查该检查区域(308)的粘接剂延展质量时，当检查区域内侧直径为S1，检查区域外侧直径为S2，所述环状照明装置(301)的照明部内侧直径为L1，所述环状照明装置(301)的照明部外侧直径为L2，所述环状照明装置(301)与所述光盘(122)间的距离为LD，所述照相装置上的第一主点位置H1与所述光盘间的距离为HD时，利用S2(1－LD/HD)＜L1＜S1(1+LD/HD)，L2＞S2(1+LD/HD)对各部件的位置关系实施设定，可以将环状照明装置(308)的影象不出现在检查区域(308)中，从而可以对其整体实施均匀的照明。
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