公开(公告)号：CN101096750B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200710126292.3

申请日：2007-06-29

申请人： 株式会社神户制钢所

发明人： 高尾敏明 ,  冈崎孝弘 ,  藤井博文

IPC分类号： C23C14/24

CPC分类号： C23C14/3407 ,  H01J37/342 ,  H01J37/3423 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/1303 ,  Y10T428/1352 ,  Y10T428/1359 ,  Y10T428/139

摘要： 本发明是一种在筒状基材的外周面上包覆蒸发材料而成的PVD用筒状靶材，基材和蒸发材料的边界部具有由将角部倒圆而形成的凸状和凹状中的至少一种形状构成的啮合部。根据该方案，能抑制因基材和蒸发材料的热膨胀差异而在两材料的边界部产生的残余应力引起的蒸发材料的剥离或裂纹的产生，并且能确保两材料足够的紧贴性。

公开(公告)号：CN101096750A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710126292.3

申请日：2007-06-29

申请人： 株式会社神户制钢所

发明人： 高尾敏明 ,  冈崎孝弘 ,  藤井博文

IPC分类号： C23C14/24

CPC分类号： C23C14/3407 ,  H01J37/342 ,  H01J37/3423 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/1303 ,  Y10T428/1352 ,  Y10T428/1359 ,  Y10T428/139

摘要： 本发明是一种在筒状基材的外周面上包覆蒸发材料而成的PVD用筒状靶材，基材和蒸发材料的边界部具有由将角部倒圆而形成的凸状和凹状中的至少一种形状构成的啮合部。根据该方案，能抑制因基材和蒸发材料的热膨胀差异而在两材料的边界部产生的残余应力引起的蒸发材料的剥离或裂纹的产生，并且能确保两材料足够的紧贴性。