铝合金厚板及其制造方法

    公开(公告)号:CN101959625A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980106340.X

    申请日:2009-03-26

    Abstract: 本发明提供一种铝合金厚板及其制造方法,该铝合金厚板适合于半导体相关装置部件,板厚精度及平坦性良好,且能够抑制表面缺陷。将规定成分的铝合金熔解(熔解工序),除去氢气及夹杂物(脱氢工序、过滤工序),铸造成铸锭(铸造工序)。根据需要,通过热处理使该铸锭均质化(均热处理工序),热轧成规定厚度(热轧工序),进行切断(切断工序),并将表面平滑化后完成(平滑化处理工序)。另外,也可根据需要实施变形矫正(矫正工序)及退火等热处理(退火工序)。得到的铝合金厚板,其表面的平坦度为轧制方向每1m长度为0.2mm以下,板厚偏差为所希望板厚的±0.5%以内。

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