公开(公告)号：CN101089732B

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200710103817.1

申请日：2007-05-16

Applicant: 株式会社阿迪泰克工程

Inventor： 水谷军司 ,  今井洋之 ,  东树忠博 ,  折户弦

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光用照明装置，其具有能把握各灯状态的多个灯。各灯(1)内设置有电源模块(2)，利用控制装置(3)控制该多个电源模块(2)，可进行各灯(1)的点亮。电源模块(2)具有点亮电路(20)，点亮检测器(21)附属于点亮电路(20)，把各灯(1)的点亮/不点亮的信号发送到控制装置(3)，显示在显示装置(4)上。点亮电路(20)连接有电压检测装置(22)，检测各灯(1)的灯点亮时的电压，电压判定装置(23)判别灯是否以额定标准电压点亮。电压判定装置(23)中的上限和下限基准电压可由上下限基准电压设定装置(5)任意设定，可根据灯(1)的特性和曝光条件等变更灯电压的适当与否的基准。电压判定装置(23)的判定结果被发送到控制装置(3)，显示在显示装置(4)上，并被告知。

公开(公告)号：CN101089732A

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN200710103817.1

申请日：2007-05-16

Applicant: 株式会社阿迪泰克工程

Inventor： 水谷军司 ,  今井洋之 ,  东树忠博 ,  折户弦

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光用照明装置，其具有能把握各灯状态的多个灯。各灯(1)内设置有电源模块(2)，利用控制装置(3)控制该多个电源模块(2)，可进行各灯(1)的点亮。电源模块(2)具有点亮电路(20)，点亮检测器(21)附属于点亮电路(20)，把各灯(1)的点亮/不点亮的信号发送到控制装置(3)，显示在显示装置(4)上。点亮电路(20)连接有电压检测装置(22)，检测各灯(1)的灯点亮时的电压，电压判定装置(23)判别灯是否以额定标准电压点亮。电压判定装置(23)中的上限和下限基准电压可由上下限基准电压设定装置(5)任意设定，可根据灯(1)的特性和曝光条件等变更灯电压的适当与否的基准。电压判定装置(23)的判定结果被发送到控制装置(3)，显示在显示装置(4)上，并被告知。