公开(公告)号：CN109804300A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201780063339.8

申请日：2017-10-23

Applicant: 株式会社高永科技

Inventor： 许贞 ,  崔宇材

IPC: G02B27/22 ,  H04N5/372 ,  G02B27/14

Abstract: 公开一种图案光照射装置及利用其的检查装置。图案光照射装置包括在具有多个贯通孔的框架上安装的第一图案光源及第二图案光源。多个贯通孔分别沿唯一的光轴形成。第一图案光源构成得照射具有固定间距的第一图案光。第二图案光源构成得照射具有可变间距的第二图案光。

公开(公告)号：CN111048432A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201910974383.5

申请日：2019-10-14

Applicant: 株式会社高永科技

Inventor： 李撰权 ,  全文营 ,  许贞 ,  洪德和 ,  赵银河

IPC: H01L21/66 ,  G01B11/26

Abstract: 本发明公开了一种检查装置，包括：结构光源，其依次照射具有一个相位范围的多个结构光；至少一个透镜，其针对所述多个结构光，分别调整与所述相位范围中各个相位对应的光的路径，使得与所述相位范围中的一个相位对应的光到达对象体上一部分区域的各点；图像传感器，其捕获(capture)所述多个结构光分别从所述一部分区域反射而生成的多个反射光；及处理器，其与所述结构光源、所述至少一个透镜及所述图像传感器电气连接；所述处理器可以从所述图像传感器获得关于所述多个反射光各自的光量值，以关于所述多个反射光各自的光量值为基础，导出所述多个反射光的相位值，导出所述对象体表面的角度。