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公开(公告)号：CN111048432A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910974383.5
申请日：2019-10-14
Applicant: 株式会社高永科技
Abstract: 本发明公开了一种检查装置，包括：结构光源，其依次照射具有一个相位范围的多个结构光；至少一个透镜，其针对所述多个结构光，分别调整与所述相位范围中各个相位对应的光的路径，使得与所述相位范围中的一个相位对应的光到达对象体上一部分区域的各点；图像传感器，其捕获(capture)所述多个结构光分别从所述一部分区域反射而生成的多个反射光；及处理器，其与所述结构光源、所述至少一个透镜及所述图像传感器电气连接；所述处理器可以从所述图像传感器获得关于所述多个反射光各自的光量值，以关于所述多个反射光各自的光量值为基础，导出所述多个反射光的相位值，导出所述对象体表面的角度。
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公开(公告)号：CN106908443A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201610825033.9
申请日：2013-03-28
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01N21/84
CPC classification number: G01N21/956 , G01B11/24 , G01N21/95684 , G06T7/0004 , G06T7/0006 , G06T7/521 , G06T2207/10152 , G06T2207/30152 , G01N21/84
Abstract: 本发明涉及对装配于基板的电子零部件是否正确地焊接于基板进行判断的接头检查装置，目的在于提供一种通过组合至少2个以上的接头特性值，提高判断接头状态的准确度，使得相关用户能够直观方便地变更判断接头状态的标准的接头检查装置。为此，根据本发明的接头检查装置包括测定接头特性值的三维图像测定装置、根据由三维图像测定装置传输的至少2个以上的接头特性值判断接头状态的分类装置以及显示上述接头状态的用户界面装置，接头状态显示于用户能够容易地调整判断标准的接头状态空间图。
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公开(公告)号：CN105823438A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610086723.7
申请日：2013-05-22
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/0608 , G01B11/2513 , G01B11/2531 , G01B2210/56 , G01B11/254
Abstract: 本发明的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，获得第一图案图像及第二图案图像的步骤，多个第二照明装置以与多个第一照明装置交互的方式配置，第二等值波长不同于第一等值波长；对由在多个第一照明装置及多个第二照明装置中互相相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置获得的多个第一图案图像及多个第二图案图像进行组合生成多个组合图案图像的步骤；算出测量对象物的多个高度的步骤，测量对象物的多个高度基于多个组合图案图像的组合等值波长；利用测量对象物的多个高度来设定测量对象物的代表高度的步骤。
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公开(公告)号：CN104169679A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201380012672.8
申请日：2013-05-22
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/0608 , G01B11/2513 , G01B11/2531 , G01B2210/56
Abstract: 本发明的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，来获得与第一网格图案光相对应的第一图案图像及与第二网格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于第一等值波长；对由在多个第一照明装置及多个第二照明装置中互相相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置获得的多个第一图案图像及多个第二图案图像进行组合来生成多个组合图案图像的步骤；算出测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及利用算出的测量对象物的多个高度来设定测量对象物的代表高度的步骤。由此可测量出超过可测量高度的测量对象物的高度，并可获得更加准确、可靠的测量对象物的高度。
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公开(公告)号：CN105823438B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201610086723.7
申请日：2013-05-22
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/0608 , G01B11/2513 , G01B11/2531 , G01B2210/56
Abstract: 本发明的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，获得第一图案图像及第二图案图像的步骤，多个第二照明装置以与多个第一照明装置交互的方式配置，第二等值波长不同于第一等值波长；对由在多个第一照明装置及多个第二照明装置中互相相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置获得的多个第一图案图像及多个第二图案图像进行组合生成多个组合图案图像的步骤；算出测量对象物的多个高度的步骤，测量对象物的多个高度基于多个组合图案图像的组合等值波长；利用测量对象物的多个高度来设定测量对象物的代表高度的步骤。
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公开(公告)号：CN109974598A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201811433244.3
申请日：2018-11-28
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01B11/06
Abstract: 本公开的基板检查装置可以包括：第一光源，其朝向混合有荧光染料的基板的涂覆膜照射紫外线；第一光传感器，其捕获从所述紫外线照射的所述涂覆膜发生的荧光并获得所述基板的二维图像；处理器，其基于所述二维图像，导出所述基板的多个区域中的一个区域；第二光源，其朝向所述一个区域照射激光；及第二光传感器，其获得借助于所述激光而从所述一个区域发生的光干涉数据；所述处理器可以基于所述光干涉数据，导出关于所述一个区域的涂覆膜的厚度。
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公开(公告)号：CN109938843A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201711403280.0
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社高永科技
Inventor： 洪德和
Abstract: 提供一种跟踪标记的位置及姿势的光学跟踪系统。光学跟踪系统包括：成像装置，其包括对标记的至少一部分进行成像而生成光场图像的第一成像部及对从开口释放的出射光进行成像的第二成像部；及处理器，其以第一图像为基础，决定标记的姿势，基于第二图像及第三图像，决定标记的位置，其中，所述第一图像是从光场图像，作为在无限大焦距处成像的图像而提取并由图案面的一部分成像的图像，所述第二图像是从光场图像，作为在比无限大焦距近的焦距处成像的图像而提取的图像，所述第三图像是在与朝向第一成像部的出射光不同的方向，由通过开口释放的出射光借助于第二成像部而成像的图像。
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公开(公告)号：CN109938837A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201711404643.2
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社高永科技
Abstract: 提供一种跟踪标记的位置及姿势的光学跟踪系统。标记能够附着于对象体，包括在内部形成的图案面及为了图案面借助于具有无限大焦距的第一成像部而成像而在开口形成的光学系。包括处理器，所述处理器以由通过开口而看到的图案面一部分借助于第一成像部而成像的第一图像为基础，决定标记的姿势，基于由在互不相同方向通过开口而释放的出射光，借助于具有比无限大焦距近的焦距的第二及第三成像部而成像的第二图像及第三图像，决定标记的位置。
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公开(公告)号：CN105518440B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201480046819.X
申请日：2014-08-25
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G06T11/206 , G01N21/95684 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/12 , G05B19/41875 , G05B2219/34417 , G05B2219/35512 , G05B2219/37216 , G05B2219/37449 , G05B2219/45035 , G06T11/60 , G06T2200/24 , Y02P90/22
Abstract: 本发明涉及能够缩短检查时间、提高使用者便利性的基板检查装置。根据本发明一特征的基板检查装置包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从测量单元传送的各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置多个检查区域的优化的测量顺序及多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过优化模块而优化的测量顺序及数据处理顺序相关的优化相关信息。
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