公开(公告)号：CN109716088A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780057893.5

申请日：2017-08-14

申请人： 株式会社鹭宫制作所

发明人： 泷本和哉 ,  森田将裕 ,  堺理人 ,  田中达也

IPC分类号： G01L9/00

摘要： 本发明的目的在于提供压力传感器，在使用了利用压阻效应等的压力检测元件的压力传感器中，减少由温度变化引起的压力检测元件的形变，从而能够实现精度的提高以及温度响应性的改善。本发明的压力传感器(100)具备：检测流体的压力的压力检测元件(126)；支撑压力检测元件(126)的支撑部件(125)；以及粘结并固定压力检测元件(126)与支撑部件(125)的涂覆粘结剂而形成的粘结剂层(125A)，该压力传感器的特征在于，粘结剂层(125A)由初始固化层(125A1)和芯片安装固化层(125A2)这两层构成。

公开(公告)号：CN109716087A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780057867.2

申请日：2017-08-14

申请人： 株式会社鹭宫制作所

发明人： 泷本和哉 ,  森田将裕 ,  堺理人

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L19/04 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01L9/00 ,  G01L19/04 ,  H01L29/84

摘要： 本发明的目的在于提供压力传感器，在使用了利用压阻效应等的压力检测元件的压力传感器中，减少由温度变化引起的压力检测元件的形变，从而能够实现精度的提高以及温度响应性的改善。本发明的压力传感器(100)的特征在于，具备检测流体的压力的压力检测元件(126)、和用于支撑压力检测元件(126)的支柱(125)，压力检测元件(126)在出货时以远离支柱(125)的状态被保持。

公开(公告)号：CN109716086A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780057850.7

申请日：2017-08-14

申请人： 株式会社鹭宫制作所

发明人： 泷本和哉 ,  森田将裕 ,  堺理人 ,  田中达也

IPC分类号： G01L9/00

摘要： 本发明的目的在于提供压力传感器，在使用了利用压阻效应等的压力检测元件的压力传感器中，减少由温度变化引起的压力检测元件的形变，从而能实现精度的提高以及温度响应性的改善。本发明的压力传感器(100)具备检测流体的压力的压力检测元件(126)、支撑压力检测元件(126)的支撑部件(125)、以及粘结并固定压力检测元件(126)与支撑部件(125)的涂覆粘结剂而形成的粘结剂层(125A)，该压力传感器的特征在于，为了将粘结剂层(125A)维持为预定厚度，在支撑部件(125)的固定压力检测元件(126)的表面的中央设置具有预定高度的突起部(125a)。