公开(公告)号：CN107250114A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201580076280.7

申请日：2015-03-18

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 柳泽智史 ,  木村正树 ,  户田瞳 ,  滋野浩一

IPC: C07D221/14 ,  C08G59/38 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07D221/14 ,  C08G59/38 ,  C08G59/506 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明提供对365nm波长的光的吸收大且在有机溶剂中的溶解性高、显示出良好的产酸率的磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物，其由下述通式(I)表示。(式(I)中，X表示碳原子数1～14的直链或支链的烷基，R由碳原子数1～18的脂肪族烃基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数7～20的芳基烷基、被酰基取代的碳原子数7～20的芳基、碳原子数3～12的脂环式烃基、10‑樟脑基等表示。

公开(公告)号：CN107250114B

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201580076280.7

申请日：2015-03-18

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 柳泽智史 ,  木村正树 ,  户田瞳 ,  滋野浩一

IPC: C07D221/14 ,  C08G59/38 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供对365nm波长的光的吸收大且在有机溶剂中的溶解性高、显示出良好的产酸率的磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物，其由下述通式(I)表示。(式(I)中，X表示碳原子数1～14的直链或支链的烷基，R由碳原子数1～18的脂肪族烃基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数7～20的芳基烷基、被酰基取代的碳原子数7～20的芳基、碳原子数3～12的脂环式烃基、10‑樟脑基等表示。

公开(公告)号：CN107406403A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201580077938.6

申请日：2015-03-18

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 柳泽智史 ,  户田瞳 ,  滋野浩一 ,  木村正树

IPC: C07D311/16 ,  C08G59/68 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07D311/16 ,  C07C309/06 ,  C07C309/30 ,  C08G59/68 ,  C08G59/687 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0045

Abstract: 提供对基板的腐蚀性低、且光刻特性优异的对光产酸剂和阳离子聚合剂有用的芳香族锍盐化合物、使用其的光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物。一种芳香族锍盐化合物，如下述通式(I)所示(式(I)中，R1～R10各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、硝基、氰基、任选具有取代基的碳原子数1～18的烷基等，R11～R15各自独立地表示氢原子、任选具有取代基的碳原子数1～18的烷氧基等，R11～R15中的1个以上不是氢原子，X1-表示1价的有机磺酸阴离子。)。