公开(公告)号：CN105849865A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201480070511.9

申请日：2014-12-10

申请人： 株式会社EUGENE科技

发明人： 诸成泰 ,  李在镐 ,  崔晌镐 ,  尹胜铉

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/683

CPC分类号： C23C16/46 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45508 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/68785

摘要： 根据本发明的一实施例，基板处理装置包括：腔，提供对基板实施工序的内部空间；基座，设置在上述内部空间，且在上部放置上述基板；固定板，设置在沿着上述基座的周边在上述腔的侧壁形成的排气口上，并具有多个贯通孔；及一个以上的滑动板，设置在上述固定板的上部或下部，能够以上述基座的中心为基准旋转，选择性地开闭上述多个贯通孔。

公开(公告)号：CN105849865B

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201480070511.9

申请日：2014-12-10

申请人： 株式会社EUGENE科技

发明人： 诸成泰 ,  李在镐 ,  崔晌镐 ,  尹胜铉

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/683

CPC分类号： C23C16/46 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45508 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/68785

摘要： 根据本发明的一实施例，基板处理装置包括：腔，提供对基板实施工序的内部空间；基座，设置在上述内部空间，且在上部放置上述基板；固定板，设置在沿着上述基座的周边在上述腔的侧壁形成的排气口上，并具有多个贯通孔；及一个以上的滑动板，设置在上述固定板的上部或下部，能够以上述基座的中心为基准旋转，选择性地开闭上述多个贯通孔。