公开(公告)号：CN105676596A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201510881762.1

申请日：2015-12-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 奥山隆志 ,  菊地信司

IPC: G03F7/20

Abstract: 曝光装置，在该曝光装置中，简单且精度良好地检测或确认对焦状态。一边使载台(12)移动，一边向形成有缝隙(ST1～ST6)的遮光部(40)投影由条形图案(PL1～PL4)构成的图案列(PT)，由此从光电传感器(PD)输出光量信号。然后，基于根据光量信号求出的振幅比(M)，判断是否维持在对焦状态。

公开(公告)号：CN105676596B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201510881762.1

申请日：2015-12-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 奥山隆志 ,  菊地信司

IPC: G03F7/20

Abstract: 曝光装置，在该曝光装置中，简单且精度良好地检测或确认对焦状态。一边使载台(12)移动，一边向形成有缝隙(ST1～ST6)的遮光部(40)投影由条形图案(PL1～PL4)构成的图案列(PT)，由此从光电传感器(PD)输出光量信号。然后，基于根据光量信号求出的振幅比(M)，判断是否维持在对焦状态。