公开(公告)号：CN116963567A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310758546.2

申请日：2023-06-26

Applicant: 桂林理工大学

Inventor： 郑国源 ,  陈壁滔 ,  苏家乐 ,  莫淑一 ,  王吉林 ,  姚迪圣 ,  田楠 ,  龙飞

IPC: H10K71/20 ,  H10K71/60 ,  H10K71/40 ,  H10K30/15 ,  H10K30/82 ,  H10K30/85 ,  H10K30/86

Abstract: 本发明公开了一种在微纳尺度上使用光刻构建图案制备新型结构钙钛矿太阳电池的方法，在基底表面制备电子传输层，然后进行抛光处理后匀光刻胶，经过烤胶处理后配合光刻用掩膜板对光刻胶曝光显影，显影后的光刻胶在电子传输层表面形成周期性的图案；然后依次沉积绝缘层、金属电极层，然后剥离镀有绝缘层及金属电极层的光刻胶；再进行热氧化处理，使金属电极层的表面氧化成空穴传输层；最后制备钙钛矿吸收层，形成具有结构电极图案的钙钛矿太阳电池。本发明该背接触微米尺度叉指电极图案化的工艺避免了自组装光刻工艺或干法刻蚀工艺，有效的拓宽了光刻胶的选择和工艺窗口，工艺的实现对设备的需求简化。