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公开(公告)号：CN116180055A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310160056.2
申请日：2023-02-23
Applicant: 桂林理工大学
IPC: C23C16/46 , C23C16/448 , C23C16/52 , H10K71/10 , H10K30/50
Abstract: 一种钙钛矿薄膜制备装置及方法，涉及太阳能电池制备领域。本申请提供的钙钛矿薄膜制备装置包括两端封闭的石英管、一对上下相对布置地设于石英管内的加热板、气罐、真空泵及用于控制加热板温度的温控仪，石英管的两端封闭；一对加热板且被配置成可向相互靠近或远离方向移动；气罐通过进气管与石英管一端连通，进气管上设有第一截止阀；真空泵通过出气管与石英管另一端连通，出气管上设有第二截止阀。本申请提供的钙钛矿薄膜制备装置及方法能够制备得到保形良好、均匀且致密的钙钛矿薄膜。
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公开(公告)号：CN116963567A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310758546.2
申请日：2023-06-26
Applicant: 桂林理工大学
Abstract: 本发明公开了一种在微纳尺度上使用光刻构建图案制备新型结构钙钛矿太阳电池的方法，在基底表面制备电子传输层，然后进行抛光处理后匀光刻胶，经过烤胶处理后配合光刻用掩膜板对光刻胶曝光显影，显影后的光刻胶在电子传输层表面形成周期性的图案；然后依次沉积绝缘层、金属电极层，然后剥离镀有绝缘层及金属电极层的光刻胶；再进行热氧化处理，使金属电极层的表面氧化成空穴传输层；最后制备钙钛矿吸收层，形成具有结构电极图案的钙钛矿太阳电池。本发明该背接触微米尺度叉指电极图案化的工艺避免了自组装光刻工艺或干法刻蚀工艺，有效的拓宽了光刻胶的选择和工艺窗口，工艺的实现对设备的需求简化。
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公开(公告)号：CN116546862A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310718271.X
申请日：2023-06-16
Applicant: 桂林理工大学
Abstract: 本发明公开了一种使用离子束刻蚀匹配光刻构建图案化制备新型结构钙钛矿太阳能电池的方法，在基底表面依次制备电子传输层、绝缘层和金属电极层，然后对金属电极层进行表面抛光处理后匀光刻胶，然后以显影后的光刻胶作为金属电极层和绝缘层的遮挡层，进行离子束刻蚀处理，构建所需的周期性沟道的结构形成图案化；其中，所述沟道为周期性叉指结构的图案，且为微米尺寸的电极图案；再进行热氧化处理，使金属电极层的表面氧化成空穴传输层；最后制备钙钛矿吸收层，形成具有(类)叉指结构电极图案的钙钛矿太阳电池。本发明工艺方案简单易行，具有电极间距、电极宽度、电极图案、电极线条一致性均可控，工艺重复性好等特点。
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公开(公告)号：CN116916725A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310758093.3
申请日：2023-06-26
Applicant: 桂林理工大学
IPC: H10K71/60 , H10K71/00 , H10K71/40 , H10K30/85 , H10K30/86 , H10K30/82 , H10K30/15 , G03F1/76 , C25D1/10 , C23C14/24 , C23C14/08 , C23C14/14
Abstract: 本发明公开了一种使用微米级电铸掩膜板制备新型结构钙钛矿太阳能电池的方法，在基底表面制备电子传输层，然后按(类)叉指结构图案制备菲林膜，经过微米级光刻后电铸制备图案化的金属镍箔作为掩膜板，接着将沉积有电子传输层的基底与所述掩膜板通过磁力控制器对位并固定，再进行表面蒸发镀膜，依次制备金属氧化物绝缘层及金属电极层，消磁后去除镍箔掩膜板；后续进行热氧化处理，使金属电极层的表面氧化成空穴传输层；最后制备钙钛矿吸收层，形成具有(类)叉指结构电极图案的钙钛矿太阳电池。本发明采用菲林膜作为图案化的母版通过采用工业化常用的电铸工艺有效降低了图案化工艺的成本，为微米电极结构的钙钛矿太阳能电池探索出一条可行的工艺方案。
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