公开(公告)号：CN109253827A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201810640977.8

申请日：2018-06-21

Applicant: 森萨塔科技公司

Inventor： B·K·汉莱

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  G01L9/12

CPC classification number: G01L1/14 ,  G01L9/0072 ,  G01L1/142 ,  G01L9/0075 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明涉及具有为增强电容响应而构造的玻璃阻挡物材料的压力感测元件。通过在改善的电容感测元件的空气间隙中包括玻璃层来提高对所施加的压力电容响应的方法。相比于先前已知的电容感测元件，玻璃层具有额外的厚度。选择额外的厚度以跨电极之间的间隙实现介电常数预定的增加。在说明性的实施方案中，所得的电容感测元件包含具有在电极之间的两种介电介质，空气和玻璃，其中间隙中玻璃介质的厚度和剩余的空气间隙的厚度是基于玻璃和空气的介电常数而预定的，以实现感测器设计的所需要的电容响应特征。