板状物体粘结设备和方法

    公开(公告)号:CN1315962C

    公开(公告)日:2007-05-16

    申请号:CN02800397.7

    申请日:2002-02-08

    Abstract: 板状物体粘结设备,包括:吸附固定装置(10,20),分别用来吸附和固定第一光盘基片(1)及第二光盘基片(2),同时也作为电极;光盘基片移动装置(40),用来移动要靠近第一光盘基片(1)的第二光盘基片(2);距离检测装置(50),用来检测光盘基片间距离;速度控制装置(60),用来控制第二板状物体相对于第一板状物体的相对速度,并控制板状物体移动装置,使在置于第一板状物体之上的粘结剂与第二板状物体接触时及之后的瞬时时间点,相对速度低于置于第一板状物体之上的粘结剂与第二板状物体接触前的瞬时时间点的相对速度;电压施加装置(71),在置于第一板状物体之上的粘结剂与第二板状物体接触之前,在第一和第二板状物体间施加电压。

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