热处理装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104640661A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201380048787.2

    申请日:2013-09-06

    Abstract: 提供一种热处理装置,使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。热处理装置具备:腔室,收容热处理对象的工件,具有将内部与外部分隔的隔壁;以及热放射加热器,贯通隔壁而设置;热放射加热器具备:环状密封,配置于延长部的外周面,内周面与延长部的外周面接触而将腔室的内部与外部气密地密封;以及热遮挡板,在玻璃管的轴向上配置在热放射部与环状密封之间,将环状密封相对于热放射部进行热遮挡,形成有沿着延长部的内周面。

    热处理装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104640661B

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201380048787.2

    申请日:2013-09-06

    Abstract: 提供一种热处理装置,使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。热处理装置具备:腔室,收容热处理对象的工件,具有将内部与外部分隔的隔壁;以及热放射加热器,贯通隔壁而设置;热放射加热器具备:环状密封,配置于延长部的外周面,内周面与延长部的外周面接触而将腔室的内部与外部气密地密封;以及热遮挡板,在玻璃管的轴向上配置在热放射部与环状密封之间,将环状密封相对于热放射部进行热遮挡,形成有沿着延长部的内周面。

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