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公开(公告)号：CN113735053B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202111001781.2
申请日：2021-08-30
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于微机电传感器技术领域，公开了一种微机电红外传感器及其制备方法。微机电红外传感器包括衬底硅片、夹层敏感单元、薄膜封装层和金属焊盘，薄膜封装层与衬底硅片构成真空腔室，夹层敏感单元密封于真空腔室中，夹层敏感单元包括从下到上次依次堆叠的金属红外反射层、压电红外干涉层和红外吸收层。本发明利用夹层敏感单元进行红外探测，夹层敏感单元为光学干涉腔结构，能够在增强红外光的吸收率的同时实现目标红外波长的高选择性。该传感器采用薄膜封装的方式实现了真空密封，无需后续复杂的真空封装工艺，降低了器件的设计和加工的复杂度，同时减小了器件尺寸，降低了成本，提高了器件的长期稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN116505910A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310335087.7
申请日：2023-03-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法、微机械振荡器。本发明中谐振振子包括主谐振结构和机械耦合结构，主谐振结构采用方板结构，机械耦合结构采用圆环板或圆板结构，机械耦合结构与主谐振结构连接，且机械耦合结构位于主谐振结构的四角。微机械谐振器对应的频率温度曲线的温度拐点基于主谐振结构与机械耦合结构的质量占比进行调控。通过对谐振振子的几何尺寸进行设计，可以实现频率温度曲线的温度拐点的调控，能够满足多种不同场合的应用需求。
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公开(公告)号：CN115842531A
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211367814.X
申请日：2022-11-03
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法。本发明中谐振振子包括主谐振结构和机械耦合结构，主谐振结构采用矩形板结构，机械耦合结构采用一个或多个圆环板结构，微机械谐振器对应的频率温度曲线的温度拐点基于主谐振结构与机械耦合结构的质量占比进行调控。本发明通过添加机械耦合结构降低能量损耗，从而提高Q值；通过对谐振振子的几何尺寸进行设计，可以实现频率温度曲线的温度拐点的调控，能够满足多种不同场合的应用需求。
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公开(公告)号：CN115580260A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211292419.X
申请日：2022-10-21
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于微机械谐振器技术领域，公开了一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法，该谐振器结构包括微加热腔和谐振振子，并关于谐振振子晶向夹角的角平分线对称，本发明利用具有不同晶向的谐振振子的频率偏移‑温度曲线的差异进行频率测温，从而能够实现更高精度的恒温控制功能，能够提高谐振器的频率稳定性。
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公开(公告)号：CN114130636A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111406482.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 武汉大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明属于压电式超声换能器技术，具体涉及一种压电式MEMS超声换能器，换能器单元包括带有空腔的衬底硅片和换能器结构层，换能器结构层位于衬底硅片上方并与衬底硅片固定结合，使衬底空腔形成密封腔室；换能器结构层从下到上依次由氧化硅层、硅结构层、电介质层、底电极层、压电材料层、顶电极层、顶电介质层和电气连接层堆叠组成；底电极层和顶电极层至少一层以换能器单元几何中心作为原点由内向外依次排布内电极、屏蔽电极和外电极。该换能器通过屏蔽电极接地或悬空电位，使内外电极产生电学隔离，减小了电学串扰，降低了换能器的寄生电容，提高了换能器的接收/发射灵敏度，结构简单、灵敏度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113607152A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202111001878.3
申请日：2021-08-30
Applicant: 武汉大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明属于MEMS陀螺仪传感器设计和加工技术领域，公开了一种三轴微机电陀螺仪及其制备封装方法。所述MEMS陀螺仪采用四个质量块对称设计，并采用刚性的耦合框与四个质量块连接，该结构实现了单片陀螺仪的三轴传感。所述陀螺仪采用差分信号输出，可以减少和抑制由外界环境中干扰信号所引起的输出误差。MEMS陀螺仪检测模态通过刚性耦合框架进行耦合，可以进一步减小外界干扰信号对于检测输出的影响，进一步提升了陀螺仪的稳定性和可靠性。本发明采用硅通孔技术实现了器件的电学互连及器件的面外传感，并采用圆片级键合的方法实现了对器件的真空封装，该方式可能够降低器件设计、制备的难度，可实现MEMS芯片和集成电路芯片的集成。
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公开(公告)号：CN113180721A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110422090.3
申请日：2021-04-20
Applicant: 武汉大学
IPC: A61B7/04
Abstract: 本发明属于医疗器械技术领域，公开了一种电子听诊器，包括听诊头，听诊头包括声学封装薄膜、声学传感器、信号采集电路板、信号处理电路板、外壳和至少一层电磁屏蔽层；信号采集电路板和信号处理电路板从上到下堆叠固定在外壳内；信号采集电路板上集成有信号采集电路和声学传感器；信号处理电路板上集成有信号处理电路；声学封装薄膜位于信号采集电路板的上方，并覆盖声学传感器；电磁屏蔽层的设置方式包括设置于声学传感器的上方、作为声学传感器的顶电极、设置于声学封装薄膜的上方中的至少一种。本发明提供的电子听诊器具有电磁屏蔽性能强、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN111182429B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202010005578.1
申请日：2020-01-03
Applicant: 武汉大学
Abstract: 公开了一种MEMS换能器，包括一个或多个换能器阵列，所述换能器阵列包括呈蜂窝状排布的若干个正六边形换能器单元，所述换能器单元包括：衬底，具有正六边形凹腔；和换能器结构层，位于所述衬底上方并与所述衬底接合，与所述正六边形凹腔成真空腔室；其中所述多个换能器阵列串联连接，所述换能器阵列中的所述若干个正六边形换能器单元相互并联。本发明采用蜂窝状排列将换能器单元进行阵列排布，可以实现100％的填充率，提高了换能器的接收/发射灵敏度。所述换能器结构层的所述底电极层和/或所述顶电极层采用内外差分式电极布置，提高电荷收集率。
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公开(公告)号：CN111596262A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010376124.5
申请日：2020-05-07
Applicant: 武汉大学
Abstract: 公开了一种矢量水听器及基于该矢量水听器的多目标方位估计方法。所述矢量水听器包括：声学传感器，用于接收目标信号，所述声学传感器包括多个阵元，所述阵元包括若干个传感器单元；目标方位估计模块，用于将采集到的目标信号进行离散化处理，并建立混合矩阵，建立所述声学传感器面阵中心声强方程，建立环境噪声矩阵，并根据环境噪声矩阵和混合矩阵得到目标信号矩阵，将得到的目标信号矩阵与所述声学传感器面阵中心声强方程进行比较归一化处理，获得目标声压信号的强度矢量信息，从而完成目标信号的方位估计。本公开的矢量水听器测试方法简单、成本低、可实现批量化生产。
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公开(公告)号：CN111206227A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010128343.1
申请日：2020-02-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于薄膜生长技术领域，公开了一种热蒸发物理气相沉积系统及其使用方法，系统包括：真空组件、在线监测组件；真空组件包括真空镀膜腔，真空镀膜腔中设置有坩埚；在线监测组件包括质谱仪、纳米压痕仪；质谱仪用于对蒸发的气体成分进行实时监测；纳米压痕仪用于对镀膜与衬底之间的粘合强度进行实时监测。本发明具有多维度质量检测功能，可以显著提高PVD中生长样品的良品率，节约成本。
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