公开(公告)号：CN113584443B

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202110733602.8

申请日：2021-06-30

Applicant: 武汉大学

Inventor： 杨兵 ,  邓宏坤 ,  张宏业 ,  刘琰 ,  李敬雨 ,  瓦西里 ,  陈燕鸣 ,  张俊 ,  黄家辉

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层，其中，结合层为纯金属AlSc层，支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜，压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜，保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成结构和成分渐变，涂层和基体应力较低，具有好的附着力；提高了涂层的耐磨性能，同时耐腐蚀性能也大幅度提高；可以在高温时很好的保护压电复合涂层不被氧化，提高其高温稳定性。

公开(公告)号：CN113584443A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110733602.8

申请日：2021-06-30

Applicant: 武汉大学

Inventor： 杨兵 ,  邓宏坤 ,  张宏业 ,  刘琰 ,  李敬雨 ,  瓦西里 ,  陈燕鸣 ,  张俊 ,  黄家辉

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层，其中，结合层为纯金属AlSc层，支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜，压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜，保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成结构和成分渐变，涂层和基体应力较低，具有好的附着力；提高了涂层的耐磨性能，同时耐腐蚀性能也大幅度提高；可以在高温时很好的保护压电复合涂层不被氧化，提高其高温稳定性。