一种智能螺栓用AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN113293355B

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202110653531.0

    申请日:2021-06-11

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及合涂层材料的技术领域,具体涉及一种耐温耐磨智能螺栓用AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法,所述AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构,由内至外包括依次设置的结合层、过渡层、压电功能层和保护层,结合层为纯金属AlCr合金层,过渡层为AlCr/AlCrN纳米多层膜,压电功能层为AlCrN/AlScN纳米多层膜,保护层为AlCrON涂层。本发明的复合压电涂层具有抗腐蚀、高耐磨和高韧性的特点,可以保证压电涂层长期稳定的在智能螺栓表面工作,减少腐蚀等导致的失效可能性。采用的溅射技术为工业上的通用技术,工业生产批量容易实现,加工效率较高,可以大幅度降低厂家的生产成本。

    一种智能紧固件用AlScCrN纳米复合压电涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN113755792A

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202110732896.2

    申请日:2021-06-30

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域,具体涉及一种智能紧固件用AlScCrN纳米复合压电涂层及其制备方法,所述AlScCrN纳米复合压电涂层采用梯度层结构,包括由内至外依次设置的结合层、支撑层、压电功能层和保护层,其中,结合层为纯金属Cr层,支撑层为CrN/AlScCrN纳米多层膜,压电功能层为(002)取向的柱状晶AlScCrN涂层,保护层为AlScCrON涂层。本发明所制备高硬度耐磨智能紧固件用AlScCrN复合压电涂层具有高硬度、高耐磨和高结合力特性,可以保证压电涂层在高温条件下长期存在于紧固件表面,减少其失效的可能性。同时其工业生产批量容易实现,加工效率较高,可以大幅度降低厂家的生产成本。

    一种耐高温AlN/ZnO纳米复合压电涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN113481476B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202110653507.7

    申请日:2021-06-11

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域,具体涉及一种耐高温AlN/ZnO纳米复合压电涂层及其制备方法,AlN/ZnO纳米复合压电涂层采用梯度层结构,由内至外包括依次设置的结合层、过渡层、压电功能层和保护层,结合层为纯金属Al层,过渡层为Al/AlN纳米多层膜,压电功能层为AlN/ZnO纳米多层膜,保护层为AlON/Al2O3纳米多层膜。本发明所制备的耐高温AlN/ZnO复合压电涂层具有高硬度、高耐磨和高结合力特性,可以保证压电功能涂层在各种合金螺栓表面进行长期稳定的工作,减少其失效的可能性。同时其制备技术和设备和现有工业设备比较接近,工业生产批量容易实现,加工效率较高,可以大幅度降低厂家的生产成本。

    一种智能紧固件用AlScCrN纳米复合压电涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN113755792B

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202110732896.2

    申请日:2021-06-30

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域,具体涉及一种智能紧固件用AlScCrN纳米复合压电涂层及其制备方法,所述AlScCrN纳米复合压电涂层采用梯度层结构,包括由内至外依次设置的结合层、支撑层、压电功能层和保护层,其中,结合层为纯金属Cr层,支撑层为CrN/AlScCrN纳米多层膜,压电功能层为(002)取向的柱状晶AlScCrN涂层,保护层为AlScCrON涂层。本发明所制备高硬度耐磨智能紧固件用AlScCrN复合压电涂层具有高硬度、高耐磨和高结合力特性,可以保证压电涂层在高温条件下长期存在于紧固件表面,减少其失效的可能性。同时其工业生产批量容易实现,加工效率较高,可以大幅度降低厂家的生产成本。

    一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN113584443A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202110733602.8

    申请日:2021-06-30

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域,具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法,所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构,由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层,其中,结合层为纯金属AlSc层,支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜,压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜,保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性;充分利用梯度结构和纳米多层结构,形成结构和成分渐变,涂层和基体应力较低,具有好的附着力;提高了涂层的耐磨性能,同时耐腐蚀性能也大幅度提高;可以在高温时很好的保护压电复合涂层不被氧化,提高其高温稳定性。

    可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN117344275A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311218337.5

    申请日:2023-09-19

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供一种可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料的制备方法,包括:采用Al靶材通过磁控溅射在基体表面形成AlN压电功能层;通过控制磁控溅射中,氩气和氮气体积比、温度、溅射功率、沉积气压以及靶基距,使AlN压电功能层在沉积过程中呈多种取向生长。本发明制得的AlN压电涂层材料具有良好的力学性能、耐温性能和抗腐蚀性能,在不需要保护层的情况下,确保AlN压电涂层在高温和恶劣工况下具有长期稳定的服役能力,减少腐蚀等因素导致的失效可能性,可实现螺栓预紧力的精确无损测量,或实现钢基体缺陷检测和应力测量。本发明采用的溅射技术为工业上的通用技术,工业生产批量容易实现,加工效率较高,可以大幅度降低厂家的生产成本。

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