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公开(公告)号：CN101135690B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200710053528.5
申请日：2007-10-11
Abstract: 本发明公开了一种微磁场集成的微流控装置的制作方法，通过以下步骤实现：(1)用软刻蚀的方法制取聚合物微流控芯片用的阳模模板；(2)在软磁性材料上绕10～120匝导线制作成微线圈 ，导线的表面绝缘；(3)将若干个微线圈固定于阳模模板的微通道的上面，使微线圈垂直于阳模模板的平面；或将若干个微线圈固定于阳模模板的微通道的两侧，线圈之间的夹角是0～180°，线圈所形成的平面与阳模模板的平面之间的夹角是0～90°；(4)将制作聚合物微流控芯片所用的材料液态预聚物倒在固定微线圈的阳模模板上，反应固化后，脱模成型，制成具有微线圈和微通道的芯片基片，用打孔器打孔后与盖片键合，即得到微磁场集成的微流控装置。本发明加工制作过程简单，成本低，所得磁场的开关、大小和方向可控，具有原位性且集成度高。
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公开(公告)号：CN101135690A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710053528.5
申请日：2007-10-11
Abstract: 本发明公开了一种微磁场集成的微流控装置的制作方法，通过以下步骤实现(1)用软刻蚀的方法制取聚合物微流控芯片用的阳模模板；(2)在软磁性材料上绕10～120匝导线制作成微线圈，导线的表面绝缘；(3)将若干个微线圈固定于阳模模板的微通道的上面，使微线圈垂直于阳模模板的平面；或将若干个微线圈固定于阳模模板的微通道的两侧，线圈之间的夹角是0°～180°，线圈所形成的平面与阳模模板的平面之间的夹角是0°～90°；(4)将制作聚合物微流控芯片所用的材料液态预聚物倒在固定微线圈的阳模模板上，反应固化后，脱模成型，制成具有微线圈和微通道的芯片基片，用打孔器打孔后与盖片键合，即得到微磁场集成的微流控装置。本发明加工制作过程简单，成本低，所得磁场的开关、大小和方向可控，具有原位性且集成度高。
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公开(公告)号：CN119745692A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411859858.3
申请日：2024-12-17
Abstract: 本发明提出了一种基于微机械超声换能器的超声针灸装置及其使用方法，属于超声针灸领域，贴片通过贴附区粘附在人体表面并使阵列区覆盖住穴位，阵列区内布设有若干压电单元，压电单元将电能转换为声能；若干压电单元分为至少两组，控制部向若干压电单元输电并调整施加在各压电单元上的激励电压的大小与时延，并基于相控聚焦理论模拟针灸时针刺深度及入针角度以及入针强度的变化。本发明的针灸装置通过识别机构拍摄使用者的照片并进行数据分析从而定位使用者的穴位位置与深度，同时采用相控方法控制压电单元阵列发射的超声波实现聚焦焦点的变化，从而实现精准刺激与定位，通过利用压电单元探测被刺激部位的肌肉变化和血液流速变化，从而对识别机构定位的穴位位置进行校准。
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公开(公告)号：CN118868846A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411327971.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/13 , H03H9/02 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H3/02 , H03H3/08
Abstract: 本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法，谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层，啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成，按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层，多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成，啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底，通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关，改善了谐振器目标频率声波反射率，增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率，在4GHz以上，使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性，有效抑制高频主模态旁的伪模态。
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公开(公告)号：CN117801950A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311848617.4
申请日：2023-12-29
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请涉及细胞培养技术领域，特别涉及一种快速构建三维细胞球的装置及方法。所述快速构建三维细胞球的装置包括压电基底、基底壳、悬滴形成区和滴液点，所述基底壳支撑在所述压电基底的底部；所述悬滴形成区位于所述压电基底上，且所述悬滴形成区上设置有多个声表面波器件，所述声表面波器件包括至少两个相对设置的叉指电极，两个所述叉指电极所产生的声表面波方向相反，且两个所述叉指电极为圆心角小于90°的扇形，两个所述叉指电极的圆心相向并交错设置；所述滴液点位于两个所述叉指电极圆心连接线的中点处。本申请实施例提供了一种快速构建三维细胞球的装置及方法，以解决相关技术中传统悬滴法制备细胞球时间长、效率低的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114859465B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202210429303.X
申请日：2022-04-22
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS光电器件技术领域，公开了一种可调谐的压电式光环谐振腔，包括压电悬臂梁组件、光学波导组件，光学波导组件位于压电悬臂梁组件的上方，光学波导组件包括微环谐振腔和耦合器，压电悬臂梁组件在电信号的作用下产生振动，微环谐振腔基于振动产生应变并改变其谐振频率。本发明解决了现有技术中微环谐振腔难以实现多频率工作且无法调谐的问题。本发明利用压电效应，通过电信号作用使压电悬臂梁组件产生振动，进而使微环谐振腔产生应变并改变其谐振频率，本发明具有较大的频响范围与可调谐性，本发明结构集成度较高，灵敏度优良，成本较低。
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公开(公告)号：CN112953448A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110184709.1
申请日：2021-02-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种新结构薄膜体声波谐振器及其制备方法，是由上电极、第一压电层、第二压电层、第三压电层和下电极所组成的新型结构，随着5G时代的到来，谐振器的发展越来越朝着微型化、集成化和高频的方向走，市场对谐振器性能的要求越来越高，声表面波谐振器(SAW)难以满足高频的应用，但薄膜体声波谐振器(FBAR)存在着机电耦合系数不高的缺陷。本发明通过改变传统薄膜体声波谐振器单一的压电层，能够有效地减少压电层的电损耗；通过调节各层压电层的厚度，达到调节薄膜体声波谐振器机电耦合系数的目的，本发明还公开了一种新结构薄膜体声波谐振器的制备方法。
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公开(公告)号：CN110215938A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910261467.4
申请日：2019-04-02
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种全透明螺旋式声体波微流控分选芯片及其制备方法。在离心力和声辐射力双重作用下，根据不同细胞的密度，体积和压缩率，实现对目标细胞无修饰、无损害的成功分选。此器件由价格低廉的玻璃，利用激光切割和打孔技术，制备出符合驻波产生条件的微沟道，通过热键合方法将空白玻璃和具有螺旋微沟道的玻璃键合在一起，形成密封腔室。本发明制备的全透明声体波微流控芯片，操作简单，成本低廉，并且有利于对循环肿瘤细胞、胎儿有核红细胞、微粒等样品的分选。此设备分选细胞，无修饰，无损伤，不影响细胞的活性，有利于对分选后的细胞进行进一步的检测，在临床上有很大的应用空间。
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公开(公告)号：CN109012771A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810811436.7
申请日：2018-07-23
Applicant: 武汉大学
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01L3/5027 , B01L2200/10 , B01L2300/0861 , B01L2300/0887 , B01L2300/12
Abstract: 本发明公开了一种全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法。其产品由三块玻璃片和一块压电材料构成。三块玻璃片自上到下堆叠构成的驻波反应腔，上层玻璃片利用激光开有用于流体进出的孔口，并在表面孔口上面键合一块开有对应孔口的较厚的聚二甲基硅氧烷(PDMS)；中层玻璃片上由激光切割穿透玻璃制备了微米级别的沟道；下层玻璃片是完整的玻璃，用于封装腔室。压电材料采用铌酸锂单晶，其上下表面均镀上一层透明掺锡氧化铟(ITO)导电薄膜层并粘在谐振腔下表面，铌酸锂晶片两面经过银浆固化引出两根导线。本发明所制备的芯片完全透明，可视性极高，可用于细胞/微粒等样本的聚集、分离和操控；本发明的制备工艺简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN106914288A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710170689.6
申请日：2017-03-21
Applicant: 武汉大学
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01L3/502707 , B01L3/50273 , B01L2300/06 , B01L2300/0645 , B01L2400/0496
Abstract: 本发明公开了一种微流控高频声聚焦芯片及其制备方法。其产品由声波换能器、带有波导和聚焦功能的微结构的硅片、PDMS有机高聚物所构成。其中，硅片上的波导结构为45˚镜面结构的硅凹槽，聚焦结构为硅晶片内半圆柱‑垂直反射壁形状的凹槽。在45˚硅镜面凹槽上沉积了金薄膜作为声波阻抗匹配层减。带有孔洞的PDMS有机高聚物覆盖在硅片上，其两个孔洞与硅片微沟道内进、出样处的位置相对应，且有机高聚物与硅片紧密封装使得芯片不漏液。声波换能器为氧化锌薄膜组分并耦合在硅片底部。换能器正反面用铂层作为电极。本发明将高频体声波集成到微流体芯片内，可对细胞、微颗粒等生物活体样品进行快速捕获并保证样品活性。
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