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公开(公告)号：CN119745692A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411859858.3
申请日：2024-12-17
Abstract: 本发明提出了一种基于微机械超声换能器的超声针灸装置及其使用方法，属于超声针灸领域，贴片通过贴附区粘附在人体表面并使阵列区覆盖住穴位，阵列区内布设有若干压电单元，压电单元将电能转换为声能；若干压电单元分为至少两组，控制部向若干压电单元输电并调整施加在各压电单元上的激励电压的大小与时延，并基于相控聚焦理论模拟针灸时针刺深度及入针角度以及入针强度的变化。本发明的针灸装置通过识别机构拍摄使用者的照片并进行数据分析从而定位使用者的穴位位置与深度，同时采用相控方法控制压电单元阵列发射的超声波实现聚焦焦点的变化，从而实现精准刺激与定位，通过利用压电单元探测被刺激部位的肌肉变化和血液流速变化，从而对识别机构定位的穴位位置进行校准。
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公开(公告)号：CN119767227A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411779139.0
申请日：2024-12-05
IPC: H04R17/02
Abstract: 本发明提出了一种组合梁麦克风，属于压电式麦克风领域，包括衬底上表面开设有圆形的凹槽且内部开设有空腔，空腔位于凹槽正下方；中心振膜设置在凹槽内并位于凹槽的圆心位置；过渡梁环绕中心振膜间隔设置并连接在中心振膜上，相邻过渡梁之间留有第一空隙；固支梁环绕中心振膜间隔设置，固支梁沿凹槽径向的两端分别连接在凹槽内壁及过渡梁上；悬臂梁设置在相邻固支梁之间并连接在过渡梁上，悬臂梁与凹槽内壁及固支梁之间留有第二空隙。本发明通过改变麦克风内梁的结构形式，增加固支梁数目和梁之间的组合形式，增大高应力集中区域面积，结合中心振膜、过渡梁、固支梁和悬臂梁的合理布局，使应力分布更均匀，提高振膜面积的有效利用率。
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公开(公告)号：CN118868846B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411327971.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/13 , H03H9/02 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H3/02 , H03H3/08
Abstract: 本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法，谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层，啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成，按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层，多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成，啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底，通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关，改善了谐振器目标频率声波反射率，增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率，在4GHz以上，使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性，有效抑制高频主模态旁的伪模态。
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公开(公告)号：CN118264968A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410454086.9
申请日：2024-04-16
Applicant: 武汉大学
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明公开了一种小型化压电式微机电系统麦克风及其制作方法，麦克风包括衬底、压电结构、引出电极、封装结构和ASIC芯片；衬底带有凹槽，压电结构设于衬底上端与凹槽形成背腔；压电结构包括压电叠层以及压电叠层内的底电极和顶电极，压电叠层还设有直达背腔的释放槽，引出电极设置于压电叠层内，底电极和顶电极通过引出电极引出，背腔正上方的压电结构为麦克风；ASIC芯片设于压电结构顶端；封装结构包括相连的封装端和连接端，封装端将释放孔和麦克风封装在内，麦克风上部与所述封装端构成麦克风前腔，引出电极通过连接端与ASIC芯片的输入电极连接。本发明相对于市面产品具有体积小、集成化程度高的特点，并提高了电气连接可靠性，降低连接的损耗。
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公开(公告)号：CN115886754A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211260250.X
申请日：2022-10-14
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了压电针式PMUT的血压监测装置。该血压监测装置包括：一压电传感器模块，其包括依次叠设的衬底、传感器阵列层和封装层，PMUT器件至少部分凸出于封装层的表面，PMUT器件包括依次叠设的压电层和电极层，压电层覆于衬底的顶面，压电层覆于封装层的底面；CMOS电路模块，与压电传感器模块集；可穿戴式装配体，供压电传感器模块、CMOS电路模块安装并用以提供穿戴功能。其中压电传感器模块检测到脉搏并将机械能转换成电能，输出电荷经过数据处理模块，通过动脉脉冲的压电动力学原理，由微处理单元将输出电压波形转换成血压值输出，即可完成血压实时监测功能。本装置操作简单，测量精确，可批量化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114466282A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210081612.2
申请日：2022-01-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种声学换能器及声学装置，涉及声学换能器技术领域，所述声学换能器包括：换能器压电层、换能器介质层和换能器质量块，所述换能器介质层设于所述换能器压电层的中部一侧，所述换能器质量块设于所述换能器介质层背离所述换能器压电层的一侧，所述换能器压电层在其两端位置和所述换能器质量块的两个肩部位置依次设有电连接的四个电极组：第一电极组、第二电极组、第三电极组和第四电极组。本发明基于固支梁的结构特性，在换能器压电层的中部设置换能器质量块，换能器质量块能够增加换能器压电层振动时的应力较大的区域面积，在压电效应下生成的电信号质量更高，即本发明的声学换能器灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN113726307A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110947614.0
申请日：2021-08-18
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种有效机电耦合系数可调的超高频谐振器，其结构包括：沟槽，电极，压电薄膜；电极位于压电薄膜上表面。沟槽横截面为矩形、梯形、弧形中任一种，长度方向与电极长度方向一致，沟槽数目、宽度和深度据实际情况确定。沟槽可位于压电薄膜上表面或下表面或位于上下表面，若其位于压电薄膜上表面，则位于电极左右两侧；若其位于压电薄膜下表面，则位于电极正下方；若其位于压电薄膜上下表面，则上表面的沟槽位于电极左右两侧，下表面的沟槽位于电极正下方。刻蚀沟槽能够有效减小超高频谐振器的带宽，且可以通过改变沟槽的宽度和深度调节有效机电耦合系数，实现带宽可调。
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公开(公告)号：CN119958679A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510012894.4
申请日：2025-01-06
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS水声传感器芯片及系统，属于水声信号探测技术领域。本发明针对在静水中水听器测量较为准确，但在洋流中由于水流噪声、水流运动和传感器振动等因素的干扰，水听器测量精度下降，无法在复杂海洋环境中定位声源和描述声场的问题，提出将压电水听器和压电加速度计集成为MEMS水声传感器芯片，并将MEMS水声传感器芯片的输出信号通过适配的信号调理电路进行调理，从而获取声压和粒子运动信息，定位声源和描述声场。本发明的MEMS水声传感器系统即使在洋流中或者当传感器振动时测量结果依然准确，具有抗流和抗振的效果，在探测水声信号领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN119803649A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510162916.5
申请日：2025-02-14
Applicant: 武汉大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种MEMS水声传感器及其制备方法，所述MEMS水声传感器包括带有凹槽的第一衬底，以及与所述第一衬底键合的第二衬底，还包括第二衬底的顶部设置的压电结构；所述压电结构包括依次设置的下电极层、压电层和上电极层；所述凹槽内设置有限位结构，所述第二衬底与所述第一衬底的凹槽形成空腔本发明在水声传感器的空腔中增加了限位结构，限制了水听器薄膜的形变程度。结果表明限位结构的增设，在不明显降低传感器的灵敏度的前提下，能够显著提高耐压性，能够保证水声传感器在深海高压下能保持较高灵敏度并稳定工作。
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公开(公告)号：CN118062185A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311865948.9
申请日：2023-12-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种船舶智能除冰装置，包括压电换能器阵列模块和与所述压电换能器阵列模块连接的控制电路模块；所述压电换能器阵列模块包括流速测定部件和除冰部件；工作时，所述控制电路模块控制所述流速测定部件发射超声波，并根据接收的超声波监测流速，若监测到流速异常，所述控制电路模块控制所述除冰部件发射超声波进行除冰。本发明的装置基于MEMS技术得到流速测定部件和除冰部件，利用入射声波与反射声波之间的频率差转换成液体的流速，获取流速信息，在流速异常时，除冰部件发射超声波利用超声波在冰块中的传播与振动以及超声波的热效应来实现除冰功能。本发明的装置还具有一致性好、体积小、性能优异、智能化的优势。
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