一种光学镜组切换装置及晶圆加工组件

    公开(公告)号:CN117950137A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202311845354.1

    申请日:2023-12-28

    发明人: 饶浩乾 万胜

    摘要: 本申请公开了一种光学镜组切换装置及晶圆激光加工组件。该光学镜组切换装置包括:多个光学镜组;镜组切换组件,包括分度转盘和旋转驱动件,分度转盘周向设置多个可容置光学镜组的通孔,旋转驱动件连接分度转盘并用于驱动分度转盘转动,使得其中任意一个通孔位于预设工位;光学镜组通过第一连接件活动连接在通孔内;镜组定距组件,包括中空件,光学镜组可通过第三连接件和中空件活动连接;镜组定距组件还包括驱动机构,驱动中空件沿激光入射方向往复移动,驱动机构还驱动中空件旋转,从而带动其连接的光学镜组旋转。通过上述方式,本申请提供的光学镜组切换装置能够快速且高效地切换及调节光学镜组。

    一种激光加工系统及晶圆激光减薄方法

    公开(公告)号:CN117961308A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410171913.3

    申请日:2024-02-07

    IPC分类号: B23K26/362 B23K26/70

    摘要: 本申请提供一种激光加工系统及晶圆激光减薄方法,涉及激光加工技术领域,方法包括对晶圆进行烧蚀测试,以建立晶圆的表面烧蚀深度与激光能量密度的映射函数关系,并确定激光模块的优化参数;获得高度轮廓扫描模块扫描的晶圆的表面高度轮廓数据;根据映射函数关系和表面高度轮廓数据,控制激光模块以减薄参数朝向晶圆出射激光,以进行第一阶段的减薄加工;控制激光模块以优化参数,并配合预设扫描路径对晶圆出射激光,进行第二阶段的粗糙度优化加工。第一阶段基于表面轮廓实时调控激光能量,保证减薄后表面高度均匀性和减薄量;第二阶段采用低激光能量密度和搭接率配合的扫描方式优化表面粗糙度。不对晶圆表面造成机械损伤,成本低效率高。

    一种多激光头退火装置及系统

    公开(公告)号:CN218351489U

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202222744968.8

    申请日:2022-10-19

    IPC分类号: H01L31/18 H01L21/677

    摘要: 本实用新型公开了一种多激光头退火装置及系统,属于光伏制造技术,其包括上料组件、加工台模组、下料组件、激光加工模组和上下料搬运模组,通过加工台模组中多个加工台位的设置、上下料组件中多个输送单元在Y轴上的对应布置、以及激光加工模组中多个激光加工单元在加工台模组上方的固定设置,可以快速实现多个物料的同步上料、同步加工和同步下料。本实用新型的多激光头退火装置,其结构紧凑,控制便捷,能够实现电池片物料的快速运输和准确加工,并能实现加工后物料搬运下料过程中的可靠冷却,保证物料加工效率的同时,充分保证物料加工的质量和精度,确保加工工艺控制的稳定性,最大限度地提高激光利用率,降低电池片物料的加工成本。

    一种Mini Led芯片激光修复设备

    公开(公告)号:CN216311823U

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202122543724.9

    申请日:2021-10-21

    摘要: 本实用新型公开了一种Mini Led芯片激光修复设备,输送线的上方设有龙门平台,龙门平台上设有沿龙门X1轴移动的激光加工模组;输送线下方设有背光板搬运模组,背光板搬运模组包括可沿Y轴方向移动用于调整不合格芯片位置的背光板Y1轴;输送线下方设有可沿Y轴方向移动的晶圆输送模组;晶圆输送模组所在平面的下方设有顶针组件,顶针组件包括可沿X轴移动的顶针移动X2轴。本实用新型以背光板搬运模组的Y轴移动、晶圆输送模组的Y轴移动和顶针组件的X轴移动三个短行程移动机构为基础,龙门X1轴作为串联贯穿整个修复线路,从而实现芯片的修复,结构整体紧凑小巧。

    一种太阳能电池片的激光退火设备

    公开(公告)号:CN215834540U

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN202121635142.7

    申请日:2021-07-16

    IPC分类号: H01L31/18 H01L21/324

    摘要: 本实用新型公开了一种太阳能电池片的激光退火设备,属于光伏制造技术领域,其通过在机架上设置上料模组、加工台模组、下料模组和激光加工模组,能准确完成待加工产品的上料、加工和下料过程,可在保证产品加工准确性的同时,有效提升产品加工的效率。本实用新型的太阳能电池片的激光退火设备,其结构简单,设置简便,利用产品上下料与激光加工模组在空间上的交错运行,有效实现了待加工产品的高效加工,保证加工质量的同时,大幅提升了太阳能电池片激光退火加工的产能,间接降低了太阳能电池片的制备成本,推动了太阳能电池片的应用,具有较好的应用前景和推广价值。

    一种Mini LED芯片拆焊装置
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217493048U

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202220598306.1

    申请日:2022-03-18

    IPC分类号: B23K26/00 B23K26/70

    摘要: 本实用新型提供了一种Mini LED芯片拆焊装置,包括激光加工模组和加工头,加工头安装在激光加工模组下端,其包括主体腔和转接腔,主体腔设置在激光加工模组的下方并和激光加工模组连接,转接腔设置在主体腔一侧并和主体腔连通,另一侧连接真空发生装置;主体腔下设置有导风筒,其内壁与主体腔同轴连通,用于低压收集;导风筒内部设置风刀腔,风刀腔一端连通设置在导风筒外壁的进风口,另一端和设置在导风筒内腔底部的出风口连通,主体腔的内径不大于转接腔的内径。本实用新型提供的一种Mini LED芯片拆焊装置,实现了Mini LED芯片的激光加热脱焊和芯片及焊锡收集同轴,同轴吹吸使得熔化后的芯片及锡或者其他导电钎料被被吹起后有效收集,避免基板的污染。

    一种光伏制造的加工台模组及加工台结构

    公开(公告)号:CN216213501U

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202121635141.2

    申请日:2021-07-16

    IPC分类号: H01L31/18 H01L21/683

    摘要: 本实用新型公开了一种光伏制造的加工台模组及加工台结构,属于光伏制造设备领域,其通过台面与冷却控温组件的对应设置,在满足加工台上升温加工的同时,有效实现了加工台台面温度的准确控制,确保加工台的台面温度可以保持在一定的范围内。本实用新型的光伏制造的加工台模组即加工台结构,其结构简单,设置简便,能有效满足光伏制造的应用需求,在进行台面升温控制的同时,准确实现台面温度的降低,进而实现台面温度的准确控制,减少光伏制造过程中因温度波动较大导致的误差,提升光伏制造的效率和精度,具有较好的应用前景和推广价值。

    一种光学镜组切换装置及晶圆激光加工组件

    公开(公告)号:CN221782493U

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202323661895.7

    申请日:2023-12-28

    发明人: 饶浩乾 万胜

    摘要: 本申请公开了一种光学镜组切换装置及晶圆激光加工组件。该光学镜组切换装置包括:多个光学镜组;镜组切换组件,包括分度转盘和旋转驱动件,分度转盘周向设置多个可容置光学镜组的通孔,旋转驱动件连接分度转盘并用于驱动分度转盘转动,使得其中任意一个通孔位于预设工位;光学镜组通过第一连接件磁吸连接在通孔内;镜组定距组件,包括中空件,光学镜组可通过第三连接件与中空件磁吸连接;镜组定距组件还包括驱动机构,驱动中空件沿激光入射方向往复移动,驱动机构还驱动中空件旋转,从而带动其连接的光学镜组旋转。通过上述方式,本申请提供的光学镜组切换装置能够快速且高效地切换及调节光学镜组。

    一种激光加工台
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221773731U

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202322842931.3

    申请日:2023-10-20

    IPC分类号: B23K26/70 B23K37/04

    摘要: 本实用新型公开了一种激光加工台,属于激光加工技术领域。所述激光加工台包括支撑组件和驱动组件;所述支撑组件包括底座和台面,所述底座位于所述台面下方;所述驱动组件包括直线电机、马达和多个配重件,所述直线电机和多个所述配重件均位于底座上,所述直线电机和多个所述配重件的输出端均与所述马达传动连接,以驱动所述马达升降,多个所述配重件沿所述底座的周向均匀间隔布置,所述马达的输出端与所述台面传动连接,以驱动所述台面转动。本实用新型实施例提供了一种激光加工台,不仅可以减小直线电机的推力,也就可以降低直线电机的设计尺寸,还能在整体上降低了激光加工台的重心。