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公开(公告)号：CN201842116U
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201020516394.3
申请日：2010-09-03
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种手推车，包括车身、车身支撑体，所述车身支撑体的一端连接所述车身的底面，另一端安装车轮，所述车身支撑体至少为两个，还包括连接板，所述连接板连接所述相邻的两个车身支撑体；所述车身底端还设置有轴，所述轴的外周套有齿轮，所述齿轮朝向地面的一端固定有套在所述轴上的橡胶垫圈，所述橡胶垫圈连同所述齿轮可沿所述轴上下移动；还包括第一推杆和第二推杆，所述第一推杆和第二推杆上均具有可同所述齿轮相咬合的突起，所述第一推杆和第二推杆的一端均穿过所述连接板，另一端分别同所述齿轮相对的两侧相咬合。本实用新型的手推车可有效地把行进中的手推车停下来，且操作方便。
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公开(公告)号：CN106653584A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611021184.5
申请日：2016-11-15
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
CPC分类号： H01L21/187 , H01L22/26
摘要： 本发明涉及一种减小晶圆键合工艺波动性的方法及系统，其方法包括以下步骤，S1，构建两片需要键合的晶圆的COA数据，其中所述COA数据包含身份数据和实际厚度数据；S2，晶圆键合机台读取两片所述晶圆的身份数据，并根据两片所述晶圆的身份数据对应获取两片所述晶圆的实际厚度数据；S3，所述晶圆键合机台根据两片所述晶圆的实际厚度数据调整两片所述晶圆之间的距离，使得两片所述晶圆之间的距离与预设值吻合。本发明降低因为晶圆厚度差异引起的键合工艺不稳定性的风险；同时降低了硅片厚度规格要求从而降低采购成本。
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公开(公告)号：CN206378328U
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201621438234.5
申请日：2016-12-26
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： G01N1/22
摘要： 本实用新型提供前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置，属于半导体制造技术领域，包括：取样盖，取样盖的尺寸与前端开启式晶圆传送盒的尺寸相配合，取样盖与晶圆载体连接构成密闭空间，取样盖上设有安装孔；密封塞，密封塞设置于安装孔内，密封塞为空心管状结构；取样管，取样管具有管状部和球形部，球形部设置于管状部的底部且与管状部连通，球形部上均匀布设有至少三个进气孔，管状部设置于密封塞内，球形部位于密闭空间内。本实用新型的有益效果：取样精度更高，更便捷的对前端开启式晶圆传送盒的内部环境进行监控，更有效的对由于前端开启式晶圆传送盒的内部环境导致晶圆产生缺陷的案例进行取样分析。
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公开(公告)号：CN206208918U
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201621336184.X
申请日：2016-12-07
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： G01P5/00
摘要： 本实用新型公开了一种气流检测装置，应用于无尘室的气流检测，其特征在于，包括：可移动的呈矩形状的本体；高度可调节的升降机构，设置于所述本体上；风速探测头，设置于所述升降机构的顶部；推动单元，与所述升降机构连接，用以控制所述升降机构上升或者下降，使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。其技术方案的有益效果在于，通过升降机构可代替人工手持风速测量仪进行风速测量，使检测操作更加的安全，同时提高了检测操作的效率，提高了测试精度。
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公开(公告)号：CN204346775U
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201520005000.0
申请日：2015-01-05
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： G01N1/22
摘要： 本实用新型涉及一种检测装置技术领域，具体涉及一种取样瓶。当盖体旋转至第一预定位置处时，第一插管与第三插管之间形成第一通道，第二插管与第四通孔之间形成第二通道；盖体离开第一预定位置时，盖体密封瓶体。本实用新型的优点是：在不需要进行取样操作时，将盖体旋转离开第一预定位置，第一插管与第三插管错开，第二插管与第四通孔错开，盖体与瓶塞之间形成一密封装置，使得取样瓶内的样品溶液处于密封的取样瓶中，保证样品溶液不被污染。取样瓶处于倾斜或者倒戈状态，样品溶液也不会从取样瓶中流出。避免了操作人员因样品的洒漏或者污染而进行二次取样，提高了工作效率。
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