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公开(公告)号：CN102252953B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010181355.7
申请日：2010-05-21
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G01N15/10
摘要： 本发明公开了一种用于液体颗粒测试的适配装置，通过缓冲容器和排液单元的缓冲作用，降低液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，从而能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与外部环境隔离，避免了外部环境中颗粒的影响。
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公开(公告)号：CN102233548B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201010165015.5
申请日：2010-04-29
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种真空吸笔，所述真空吸笔包括真空吸嘴以及活塞式抽真空装置，所述活塞式抽真空装置通过一单向阀与所述真空吸嘴连接，当通过所述活塞式抽真空装置从所述真空吸嘴抽气后，所述单向阀防止气体回流至所述真空吸嘴。本发明所提供的真空吸笔无需外接真空系统提供真空即可将晶片牢牢吸附住，使用方便，可应用于任何场合，节约了生产成本。
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公开(公告)号：CN102248835A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201010181361.2
申请日：2010-05-21
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： B42F13/22
摘要： 本发明提供一种文件夹，包括：文件夹封面和装订装置，所述文件夹的封面脊部是可折叠伸缩的；所述装订装置的第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆、第四支撑杆为多节可伸缩结构。所述文件夹根据待装订文件的厚度，同时调整装订支撑杆第一支撑杆至第四支撑杆的高度，配合封面脊部的可伸缩性共同达到节省空间、提高利用率的目的。
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公开(公告)号：CN102233548A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201010165015.5
申请日：2010-04-29
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种真空吸笔，所述真空吸笔包括真空吸嘴以及活塞式抽真空装置，所述活塞式抽真空装置通过一单向阀与所述真空吸嘴连接，当通过所述活塞式抽真空装置从所述真空吸嘴抽气后，所述单向阀防止气体回流至所述真空吸嘴。本发明所提供的真空吸笔无需外接真空系统提供真空即可将晶片牢牢吸附住，使用方便，可应用于任何场合，节约了生产成本。
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公开(公告)号：CN102269663B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201010192368.4
申请日：2010-06-04
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还公开了一种金属杂质在线监测方法，该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测，并且可实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。
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公开(公告)号：CN102269663A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010192368.4
申请日：2010-06-04
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还公开了一种金属杂质在线监测方法，该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测，并且可实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。
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公开(公告)号：CN102252953A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201010181355.7
申请日：2010-05-21
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G01N15/10
摘要： 本发明公开了一种用于液体颗粒测试的适配装置，通过缓冲容器和排液单元的缓冲作用，降低液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，从而能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与外部环境隔离，避免了外部环境中颗粒的影响。
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公开(公告)号：CN201842116U
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201020516394.3
申请日：2010-09-03
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种手推车，包括车身、车身支撑体，所述车身支撑体的一端连接所述车身的底面，另一端安装车轮，所述车身支撑体至少为两个，还包括连接板，所述连接板连接所述相邻的两个车身支撑体；所述车身底端还设置有轴，所述轴的外周套有齿轮，所述齿轮朝向地面的一端固定有套在所述轴上的橡胶垫圈，所述橡胶垫圈连同所述齿轮可沿所述轴上下移动；还包括第一推杆和第二推杆，所述第一推杆和第二推杆上均具有可同所述齿轮相咬合的突起，所述第一推杆和第二推杆的一端均穿过所述连接板，另一端分别同所述齿轮相对的两侧相咬合。本实用新型的手推车可有效地把行进中的手推车停下来，且操作方便。
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公开(公告)号：CN201677904U
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201020180756.6
申请日：2010-04-29
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： B62B3/00
摘要： 本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，包括车身主体，所述车身主体设置有电机、电源、主动轮和可调控开关，所述电机和电源电性连接，所述主动轮通过传动装置连接于所述电机，所述可调控开关电性连接所述电机和电源。本实用新型提出的半导体工艺中洁净室用推车，其使用电力驱动推车，减轻了作业员的劳动强度并且提高了作业效率。
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公开(公告)号：CN201732021U
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201020201086.1
申请日：2010-05-21
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 武汉新芯集成电路制造有限公司
IPC分类号： G01N1/22
摘要： 本实用新型公开了一种用于半导体器件生产环境评估的取样装置，包括：腔室，其具有开口和用于盖住所述开口的封盖，所述腔室用于放置待进入所述半导体器件生产环境的样品，所述样品释放多种污染气体；进气管和出气管，分别设置于所述腔室的两侧，所述进气管通入高纯度气体到所述腔室中，所述出气管取样所述腔室中的气体混合物；进气阀，设置于所述进气管中，用于控制所述高纯度气体的通入量；出气阀，设置于所述出气管中，用于控制所述气体混合物的取样量。
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