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公开(公告)号：CN113739977A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110974443.0
申请日：2021-08-24
Applicant: 武汉珈联传感科技有限责任公司
Abstract: 本发明属于压电涂层材料技术领域，具体涉及一种螺栓预紧力测试用带压电传感器智能垫片及其制备方法，包括垫片及依次设置于垫片表面的垫片加硬层、ZnO压电功能复合层、耐磨导电电极层构成；其中垫片加硬层为CrN陶瓷涂层，ZnO压电功能复合层由诱导结晶层、ZnO压电层及保护层构成，耐磨导电电极层为Cr/CrN多层膜构成。本发明首次将传感器制备于垫片表面，实现在垫片上实现超声检测；传感器采用多层结构，功能上实现使涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；具有抗腐蚀、高耐磨和高韧性的特点，可以保证传感器长期稳定的在垫片表面工作，减少腐蚀等导致的失效可能性。
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公开(公告)号：CN113739977B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202110974443.0
申请日：2021-08-24
Applicant: 武汉珈联传感科技有限责任公司 , 武汉大学
Abstract: 本发明属于压电涂层材料技术领域，具体涉及一种螺栓预紧力测试用带压电传感器智能垫片及其制备方法，包括垫片及依次设置于垫片表面的垫片加硬层、ZnO压电功能复合层、耐磨导电电极层构成；其中垫片加硬层为CrN陶瓷涂层，ZnO压电功能复合层由诱导结晶层、ZnO压电层及保护层构成，耐磨导电电极层为Cr/CrN多层膜构成。本发明首次将传感器制备于垫片表面，实现在垫片上实现超声检测；传感器采用多层结构，功能上实现使涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；具有抗腐蚀、高耐磨和高韧性的特点，可以保证传感器长期稳定的在垫片表面工作，减少腐蚀等导致的失效可能性。
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公开(公告)号：CN116875945A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310831466.5
申请日：2023-07-07
Applicant: 武汉珈联传感科技有限责任公司
Inventor： 曾晓梅 , 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 杨兵 , 张俊 , 黄家辉
IPC: C23C14/34 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/58 , H10N30/093 , H10N30/00 , H10N30/30 , H10N30/85 , G01L1/25
Abstract: 本发明公开了一种高品质铌酸锂压电材料及其制备方法、耐高温传感器，属于压电涂层制备技术领域，包括清洁腔室和衬底，并在腔室内放置好衬底、靶材；抽真空并对腔室内进行加热；引入氩气和氧气，开启射频电源，沉积铌酸锂压电涂层；关闭氧气，重新调整靶基距离、加热温度，引入氩气，开启射频电源，沉积Ag电极涂层；对涂层进行高温退火。本发明的有益效果是：对铌酸锂压电涂层的沉积工艺进行设计，使得铌酸锂薄膜具有优异且紧密的柱状晶形态，可以耐700‑800℃高温，采用的Ag电极涂层相比银浆，可以增强与压电层的结合，引出更强声波信号和耐高温性能。
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