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发明公开
一种新型氨气传感器芯片及其制备方法无效

公开(公告)号：CN112362716A

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN202011224566.4

申请日：2020-11-05

申请人： 武汉科技大学

发明人： 谢光远 , 时可 , 邱电荣 , 尹亮亮 , 吴旭旭

IPC分类号： G01N27/407 , G01N27/41

摘要： 本发明公开了一种新型氨气传感器芯片及其制备方法。芯片包括由上而下依次设置的第一层至第五层流延基片，在第一层流延基片正面印刷公共外电极，其反面印刷非活性电极，在第一层流延基片反面或第三层流延基片正面印刷催化电极，非活性电极和公共外电极形成泵氧功能单元，催化电极和公共外电极形成测氨功能单元；在第三层流延基片反面或第四层流延基片正面印刷参考电极；在第五层流延基片正面印刷加热电阻，加热电阻两侧分别印刷绝缘层，加热电阻通过小孔和第五层流延基片反面引脚相连。本发明具有控制简单和测试精确的特点，所制备的氨气传感器芯片能够连续精确地测量氧气和氨气含量。