一种基于集成电路芯片的微针
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114305433A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202210021961.5

    申请日:2022-01-10

    Abstract: 本发明涉及一种基于集成电路芯片的微针,所述微针包括至少一个微针体和至少一个集成电路芯片,所述微针体的尾部和/或所述集成电路芯片上设置有至少一个连接通孔。本发明将微针体与集成电路芯片集成,可以实现信号的输入和输出,相应地优化神经接口的功能性,更好地满足临床需求;基于TSV互连技术实现微针体与集成电路芯片之间的电性连接,连接可靠性和工艺兼容性高,能有效地降低制备成本,能较好地满足微针的扩展需求,使多个微针体集成成为可能。

    一种微针与排线倒焊连接结构及其制备工艺

    公开(公告)号:CN115285930B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202210878799.9

    申请日:2022-07-25

    Abstract: 本发明公开了一种微针与排线倒焊连接结构及其制备工艺。该工艺通过制备微针的倒焊金属层、制备排线的倒焊金属层、将微针的倒焊金属层与排线的倒焊金属层对齐,按压形成倒焊接触的方式实现了微针与排线的倒焊连接,与传统的TSV工艺制备微针阵列相比,明显简化了工艺步骤,且能够实现信号的精准传输。通过本发明的工艺倒焊连接的微针和排线的焊接稳定性比传统TSV工艺制备得到的连接到一起的微针和排线的稳定性更高,使用寿命更长,故障率明显降低;触点的电学接触产生的欧姆电阻的阻值明显降低,明显提升了信号传输的稳定性和精准性。

    一种微针与排线倒焊连接结构及其制备工艺

    公开(公告)号:CN115285930A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202210878799.9

    申请日:2022-07-25

    Abstract: 本发明公开了一种微针与排线倒焊连接结构及其制备工艺。该工艺通过制备微针的倒焊金属层、制备排线的倒焊金属层、将微针的倒焊金属层与排线的倒焊金属层对齐,按压形成倒焊接触的方式实现了微针与排线的倒焊连接,与传统的TSV工艺制备微针阵列相比,明显简化了工艺步骤,且能够实现信号的精准传输。通过本发明的工艺倒焊连接的微针和排线的焊接稳定性比传统TSV工艺制备得到的连接到一起的微针和排线的稳定性更高,使用寿命更长,故障率明显降低;触点的电学接触产生的欧姆电阻的阻值明显降低,明显提升了信号传输的稳定性和精准性。

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