公开(公告)号：CN117760979A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311578083.8

申请日：2023-11-22

申请人： 武汉颐光科技有限公司

发明人： 何勇 ,  戴传奇 ,  高威 ,  陈军 ,  杨成 ,  王瑾

IPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/01 ,  G01B11/06

摘要： 本发明提供一种高精度穆勒矩阵椭偏仪的控制方法和装置，通过控制器控制椭偏仪的两个电机运行到设定转速后，获取两个电机的实时位置和待测样件的光强信号，并计算两个电机原点之间的夹角θ1同步值，对系统进行校准；当椭偏仪的系统参数调整后，再次计算两个电机原点之间的夹角θ2同步值，根据两次的夹角值，可计算第二补偿器安装方位角的差值，进而根据校准的第二补偿器的安装方位角，得到系统参数调整后的第二补偿器的安装方位角，对系统参数进行修正补偿。在实际生产环节中，为了将不同椭偏仪进行匹配调试，需要反复进行系统参数修正补偿，通过本控制方法，可以减少反复对椭偏仪进行校准动作，明显增强了设备的适应性。

公开(公告)号：CN117030622A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202310804924.6

申请日：2023-06-30

申请人： 武汉颐光科技有限公司

发明人： 戴传奇 ,  张琪 ,  陶泽 ,  李江辉 ,  王瑞 ,  高威 ,  夏小荣

IPC分类号： G01N21/21 ,  G05B19/042 ,  G01N21/01 ,  G01B11/06

摘要： 本发明公开了一种椭偏仪的双旋转与高产率切换控制方法、单片机及系统，其方法包括以下步骤：接收运动模式切换指令；当检测到运动模式切换指令为双旋转模式切换指令时，则按照预设第一转速条件控制调整慢速电机与快速电机的转速，并基于慢速电机转速调整后对应的编码器Z相信号控制探测器测量被测样件的光强信息；当检测到所述运动模式切换指令为高产率模式切换指令时，则按照预设第二转速条件控制调整慢速电机与快速电机的转速，并基于慢速电机转速调整后对应的编码器Z相信号控制探测器测量被测样件的光强信息；因此通过灵活的切换运动模式，实现一机两用，来适应当前实时的量测需求，增加了仪器的应用场景，提升了穆勒矩阵椭偏仪的经济效益。

公开(公告)号：CN116520733A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310281487.4

申请日：2023-03-21

申请人： 武汉颐光科技有限公司

发明人： 戴传奇 ,  张琪 ,  陈军 ,  杨成 ,  何勇 ,  李伟奇 ,  张传维

IPC分类号： G05B19/042 ,  G01J3/447

摘要： 本发明涉及一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统模型参数一致化控制方法及装置，通过运动控制器负反馈调节两电机原点位置角度差，来实现两旋转补偿器安装方位角相对位置固定，且该固定关系不会因为断电重启等其他因素而破坏，该做法可以让系统只采集一次两电机Z相信号时间差，就可以进行系统校准。通过加入可设置延时发送触发脉冲信号，来实现调试CS1一致化该参数目的；通过调试控制器设定两旋转补偿器安装方位角相对位置角，来实现调试CS2一致化该参数目的。将原来与安装调试有关的系统参数CS1、CS2加入调试补偿，然后将补偿后的系统参数带入系统模型进行参数量测计算。这样就可以确保不同设备的系统模型参数一致化，量测一致性就可以大大提高。