公开(公告)号：CN107030064A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201610946708.5

申请日：2016-10-26

Applicant: 汉辰科技股份有限公司

Inventor： 倪玉河 ,  康畯钦 ,  杨捷仁

IPC: B08B7/00 ,  B08B11/04 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01J37/30 ,  B08B7/00 ,  B08B7/0035 ,  H01J37/20 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00 ,  B08B11/04 ,  H01L21/6831

Abstract: 一种清洁静电吸盘的方法。在静电吸盘并未固持任何工件于其工作表面时，传输离子束至静电吸盘的工作表面，借以通过离子束与工作表面上沉积物的相互作用，像是物理性轰击及/或化学性结合，将沉积物自静电吸盘工作表面移除。借此，在静电吸盘并未固持工件时出现在静电吸盘工作表面的沉积物，不论是自工件脱落的光阻剂或是漂浮于制造过程反应室的颗粒等等，对于静电吸盘与工件之间实际固持力量的影响得以改善。离子束的电流量、能量与离子种类皆可以视沉积物的结构、厚度与材料等而定，像是使用低能量离子束以减少损伤静电吸盘工作表面的可能性，像是使用氧离子或是惰性气体离子等来一面移除沉积物又一面减少对静电吸盘工作表面的电介质层导电性的影响。