公开(公告)号：CN106794984B

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201580046311.4

申请日：2015-08-31

申请人： 苹果公司

发明人： S·P·巴瑟斯特 ,  P·A·帕克斯 ,  N·A·莱特

IPC分类号： B81C99/00

CPC分类号： H02N13/00 ,  B81C99/002 ,  H01L21/6833

摘要： 本发明公开了用于将转移头组件与衬底对准的系统和方法。在实施方案中，枢转安装件被用于在闭环运动控制系统中生成反馈信号。在实施方案中，枢转安装件包括在枢转安装件的枢转平台和基座之间延伸的主弹簧臂和次弹簧臂。次弹簧臂的特征在于比主弹簧臂低的刚度，并且应变感测元件被沿着次弹簧臂定位。

公开(公告)号：CN108140606A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680061236.3

申请日：2016-10-21

申请人： 住友大阪水泥股份有限公司

发明人： 森谷义明 ,  牧恵吾 ,  河野仁 ,  安藤和人 ,  金原勇贵

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

摘要： 本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：载置台，具有载置板状试样的载置面；静电吸附用电极，位于所述载置台的下侧且所述搭载面的相反面侧；基底部，搭载所述载置台及所述电极；聚焦环，包围所述载置台的周围且连续或被分割为2个以上；及提升销，使所述聚焦环的整体或至少一部分相对于所述基底部上升且能够沿上下方向移动。

公开(公告)号：CN107710399A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201780002185.1

申请日：2017-04-28

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 酒田现示 ,  横尾秀和 ,  相原强 ,  北河胜 ,  渡边章

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

摘要： 本发明的静电吸盘(13)具备：电介质层(41)，其具备板状的托盘支承部(41a)和基板支承部(41b)，托盘支承部(41a)具有表面(41S)，基板支承部(41b)从表面(41S)突出；基板用电极(42)，其位于基板支承部(41b)的内部，用于将基板吸附于基板支承部(41b)；以及托盘用电极(43)，其位于托盘支承部(41a)的内部，用于将供载置基板的托盘吸附于托盘支承部(41a)。

公开(公告)号：CN104205321B

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201380016503.1

申请日：2013-03-28

申请人： 应用材料公司

发明人： D·卢博米尔斯基 ,  J·Y·孙 ,  X·林 ,  M·D·威尔沃斯 ,  K·马赫拉切夫

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  H05B3/20 ,  B23Q3/15

CPC分类号： H02N13/00 ,  B23B31/28 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68792

摘要： 本发明的实施例提供用于在升高的温度下操作的静电夹具。本发明的一个实施例提供用于静电夹具的介电夹具体。介电夹具体包括基板支撑板、电极及轴，该基板支撑板具有用于接收基板的顶表面及与顶表面相对的背表面，该电极嵌入基板支撑板中，该轴具有第一端及与该第一端相对的第二端，该第一端附接于基板支撑板的背表面。第二端经设置以接触冷却底座及提供温度控制至基板支撑板。轴为中空的，具有包围中心开口的侧壁及两个或两个以上通路，该两个或两个以上通路穿过侧壁形成且自第一端延伸至第二端。

公开(公告)号：CN107078089A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580049625.X

申请日：2015-09-17

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 爱德华·麦金太尔 ,  坦·源

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/68742 ,  H01L2221/683

摘要： 一种用于将工件夹持到静电夹具(ESC)的系统和方法包括将第一工件放置在ESC的表面上，并且将第一组夹持参数施加到ESC，其中用第一夹持力将第一工件夹持到ESC的表面。确定工件到ESC的夹持程度，并且基于工艺配方停止将第一组夹持参数施加到ESC。在停止将第一组夹持参数施加到ESC之后，将第二组夹持参数施加到ESC，并且当工件到ESC的夹持程度小于或近似等于阈值夹持值时，在将第二组夹持参数施加到ESC的同时，从ESC的表面移除工件ESC。在从ESC的表面移除工件之后，再停止到ESC的第二组夹持参数。

公开(公告)号：CN107030064A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201610946708.5

申请日：2016-10-26

申请人： 汉辰科技股份有限公司

发明人： 倪玉河 ,  康畯钦 ,  杨捷仁

IPC分类号： B08B7/00 ,  B08B11/04 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01J37/30 ,  B08B7/00 ,  B08B7/0035 ,  H01J37/20 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00 ,  B08B11/04 ,  H01L21/6831

摘要： 一种清洁静电吸盘的方法。在静电吸盘并未固持任何工件于其工作表面时，传输离子束至静电吸盘的工作表面，借以通过离子束与工作表面上沉积物的相互作用，像是物理性轰击及/或化学性结合，将沉积物自静电吸盘工作表面移除。借此，在静电吸盘并未固持工件时出现在静电吸盘工作表面的沉积物，不论是自工件脱落的光阻剂或是漂浮于制造过程反应室的颗粒等等，对于静电吸盘与工件之间实际固持力量的影响得以改善。离子束的电流量、能量与离子种类皆可以视沉积物的结构、厚度与材料等而定，像是使用低能量离子束以减少损伤静电吸盘工作表面的可能性，像是使用氧离子或是惰性气体离子等来一面移除沉积物又一面减少对静电吸盘工作表面的电介质层导电性的影响。

公开(公告)号：CN107004626A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063056.4

申请日：2015-11-19

申请人： 住友大阪水泥股份有限公司

发明人： 小坂井守 ,  三浦幸夫

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

摘要： 本发明提供一种静电卡盘装置，在本发明中，所述静电卡盘装置具备分割为多个的加热器，可以以简单的结构对由各加热器所加热的区域进行均匀的温度控制。本发明静电卡盘装置中，具备：静电卡盘部，在一主面上具有载置板状试料的载置面，并且具备静电吸附用电极；温度调节用基座部，相对于所述静电卡盘部而配置于与所述载置面相反的一侧，对所述静电卡盘部进行冷却；高频产生用电极，以层状配置于所述静电卡盘部与所述温度调节用基座部之间；高频电源，连接于所述高频产生用电极；第1加热元件，包括以层状配置于所述高频产生用电极与所述温度调节用基座部之间的多个主加热器；及保护电极，以层状配置于所述高频产生用电极与所述第1加热元件之间。

公开(公告)号：CN106971971A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201610717071.2

申请日：2016-08-24

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 朱镇卿 ,  李泽正 ,  徐庸原 ,  金斗永 ,  洪政吾

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00

摘要： 本发明公开一种板形电子部件和包含此的静电卡盘，所述板形电子部件包括：主体；以及内部电极，布置在所述主体内，其中，所述主体为包含氧化铝的陶瓷主体，所述内部电极包含镍。

公开(公告)号：CN106688087A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201580048120.1

申请日：2015-07-07

申请人： 沃特洛电气制造公司

发明人： 约翰·帕特里克·博根 ,  达里尔·G·詹姆斯

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC分类号： G01K11/32 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

摘要： 本发明涉及一种例如静电吸盘的装置，设置包括基底、静电吸盘、加热板以及包括磷光材料的粘结层。在一种形式中，光学传感器被设置在所述粘结层附近以检测所述光学传感器视野区域中粘结层的温度。磷光材料发光，并且随后的衰变由光学传感器检测。根据这些信息，确定静电吸盘和基底的温度，并且可以通过控制器调节加热元件。

公开(公告)号：CN104247002B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201380021270.4

申请日：2013-04-23

申请人： 应用材料公司

发明人： D·卢博米尔斯基 ,  J·Y·孙 ,  M·马尔科夫斯基 ,  K·马赫拉切夫 ,  D·A·小布齐伯格 ,  S·巴纳

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/205 ,  H01L21/306 ,  C23C16/46 ,  H02N13/00

CPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/67103

摘要： 描述具有射频(RF)及温度均匀性的静电夹盘(ESC)。例如，ESC包括顶部介电层。上金属部设置于该顶部介电层之下。第二介电层设置于多个像素化的电阻式加热器之上，且所述第二介电层部分地由该上金属部所围绕。第三介电层设置于该第二介电层之下，在该第三介电层与该第二介电层之间具有边界。多个通孔设置于该第三介电层中。总线条功率分配层设置于该等多个通孔之下并且耦接于该等多个通孔。第四介电层设置于该总线条功率分配层之下，在该第四介电层与该第三介电层之间具有边界。金属底座设置于该第四介电层之下。该金属底座包括多个高功率加热器组件容纳在该金属底座中。