一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法

    公开(公告)号:CN108037641A

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201711335580.X

    申请日:2017-12-14

    IPC分类号: G03F7/20 G03F7/00

    CPC分类号: G03F7/2053 G03F7/0005

    摘要: 本发明提供了一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法。所述系统包括:固体激光器、光束整形器、光束扩束器、光束分束器、光束调整及能量控制组件、二维位移样品台和计算机;所述固体激光器发出激光光束后,所述激光光束依次经所述光束整形器、光束扩束器和光束分束器后形成六束或六束以上相干光束,再经光束调整及能量控制组件后,在位于所述二维位移样品台的样品表面干涉形成周期性蛾眼结构干涉图样,所述二维位移样品台的移动可通过计算机或人工控制,所述光束分束器用于实现相干光束的分光。本发明极大地降低了系统的复杂程度,提高了整个光刻系统的灵活性,应用环境和领域将更为广泛。

    在动物胴体上生成图案的方法

    公开(公告)号:CN107346094A

    公开(公告)日:2017-11-14

    申请号:CN201710446326.0

    申请日:2017-06-14

    发明人: 薛渊

    IPC分类号: G03F7/20 G09F7/16

    CPC分类号: G03F7/2053 G09F7/165

    摘要: 本发明为一种在动物胴体上生成图案的方法,其包括:在动物胴体上涂覆打印层,以及使用激光照射所述打印层上以生成图案。由于打印层材料具有渗透性,所以采用本发明生成的图案能够渗入到动物胴体的皮肤中,附着性强,不容易褪色;并且图案由计算机根据用户需求,使用不同格式的软件生成个性化图案,图案细致、清晰,生成的标签图案(可以是条形码、二维码等)能够被移动设备如手机等自动识别。

    一种简单快速图案化钙钛矿量子点的方法

    公开(公告)号:CN107145039A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201710282494.0

    申请日:2017-04-26

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/2053

    摘要: 本发明是一种简单快速图案化钙钛矿量子点的方法,包括以下步骤:一、清洗基片(3);二、将步骤一清洗完之后的基片(3)放在匀胶机(5)上旋涂制膜,膜的材料为钙钛矿量子点;三、利用激光扫描步骤二得到的基片(3)表面绘制图案;四、利用有机溶剂对步骤四得到的绘制图案后的基片(3)进行清洗,将图案之外的钙钛矿量子点清洗干净,得到图案化钙钛矿量子点。本发明的简单快速图案化钙钛矿量子点的方法过程简单,速度快,可以根据需求,制备各种图案,并且无需模板,可以实现大面积图案化量子点,并能在常温常压下图案化钙钛矿量子点。

    基于在线图像分析的激光直写系统的聚焦方法

    公开(公告)号:CN106970507A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201710298605.7

    申请日:2017-04-28

    发明人: 刘前 王闯

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/2053 G03F7/70383

    摘要: 本发明涉及一种基于在线图像分析的激光直写系统的聚焦方法,包括以下步骤:先通过粗调焦设定物镜初始高度,再使用相机分别采集背景图像和信源图像,通过自主设计的图像分析算法,确定该物镜高度对应的聚焦光斑尺寸;使物镜上下移动到不同的高度值,采集一系列光斑尺寸,并用预设算法拟合直线或曲线;通过实验获得最佳刻写效果对应的光斑尺寸,解析拟合直线或曲线得到物镜目标高度并输出给执行器,完成聚焦。本发明可以有效地排除样品表面杂质、反射率对聚焦的干扰,将聚焦精度保持在100nm以内;本发明聚焦速度快,可以大幅降低聚焦光对敏感样品的损坏,从而大大拓宽激光直写系统所能加工的材料的范围,并提高了刻写质量和成品率。

    一种阻焊曝光方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106707700A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201710181528.7

    申请日:2017-03-24

    发明人: 傅志伟

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/2053 G03F7/2057

    摘要: 本发明公开了一种阻焊曝光方法,属于曝光机技术领域,所述阻焊曝光方法,包括步骤:(1)对样品的阻焊区域进行直写曝光,(2)对样品整个区域进行混合波长的平行光曝光,(3)将样品进行显影处理,将非阻焊区域的阻焊层显影去除;该方法避免了DMD接受多波长混合光,大大延长DMD的使用寿命,降低生产成本,对设备要求较低,利用二次平行光进行能量补偿,减少DMD个数,减少成本和设备复杂性,使阻焊层在外观上有明显的光泽度,使产品具有更好的抗氧化性和抗冲击能力,在回流焊过程中性质更加稳定。

    一种适用于曲面手机玻璃的激光直写系统及方法

    公开(公告)号:CN106527057A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201611262958.3

    申请日:2016-12-30

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种适用于曲面手机玻璃的激光直写系统,用于在同时具有平面结构和曲面结构的曲面手机玻璃上进行图形曝光。所述激光直写系统包括主机、运动系统、线阵电荷耦合元件、至少三个到位传感器、至少两个数据处理模块及相应数量的空间光调制器和曝光镜头、至少两个聚焦模块、光源控制模块以及光源;所述数据处理模块和所述聚焦模块的数量相同。本发明通过对曲面手机玻璃的曲面部分和平面部分分别聚焦曝光的方式,实现对具有高低变化的曲面手机玻璃的图形曝光,曝光方式简单便捷,生产率高,成本低,良率高;此外,通过设定焦面和改变光源波长,实现了现有技术无法处理黑色光刻胶的问题。

    在单个印刷板上通过UV固化形成的平顶和圆顶结构

    公开(公告)号:CN102736409B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201210185003.8

    申请日:2012-04-09

    IPC分类号: G03F7/00 G03F7/20

    摘要: 本发明涉及一种使印刷板成像及使印刷板固化的方法,该印刷板由可光固化材料形成或具有可光固化材料,该可光固化材料包含可烧蚀的掩模。在一个实施例中,该方法包含采用第一部分图像数据使可烧蚀的掩模成像,以产生部分成像的未固化的板。图像数据包含第一部分图像数据和第二部分图像数据。该方法包含使用采用第一组参数的UV光使部分成像的未固化的板固化,以产生其上具有部分烧蚀掩模的部分固化的板,所述固化被安排用于产生平顶,采用第二部分图像数据使部分固化的板上的部分烧蚀掩模成像,以产生完全成像的部分固化的板,以及采用一个或多个固化参数中的第二组使完全成像的部分固化的板固化,以产生完全固化的板以产生圆顶。