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公开(公告)号：CN115086845B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210998248.6
申请日：2022-08-19
申请人： 江苏光微半导体有限公司 , 山西天地王坡煤业有限公司
摘要： 本发明涉及一种高灵敏度的MEMS光纤麦克风传感器，在入射光纤和出射光纤表面分别通过原子层沉积技术交替沉积高折射率光学氧化物薄膜和低折射率金属氧化物薄膜形成光学增透膜，光学增透膜的光学厚度为光纤所使用光波长λ的1/4或1/2。本发明中在入射光纤和出射光纤表面制备得到光学增透膜厚度可精准控制，沉积膜致密，有效降低了入射光纤和出射光纤的光反射，提高了MEMS光纤麦克风传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN115086845A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210998248.6
申请日：2022-08-19
申请人： 江苏光微半导体有限公司 , 山西天地王坡煤业有限公司
摘要： 本发明涉及一种高灵敏度的MEMS光纤麦克风传感器，在入射光纤和出射光纤表面分别通过原子层沉积技术交替沉积高折射率光学氧化物薄膜和低折射率金属氧化物薄膜形成光学增透膜，光学增透膜的光学厚度为光纤所使用光波长λ的1/4或1/2。本发明中在入射光纤和出射光纤表面制备得到光学增透膜厚度可精准控制，沉积膜致密，有效降低了入射光纤和出射光纤的光反射，提高了MEMS光纤麦克风传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN117253484B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311539558.2
申请日：2023-11-18
申请人： 无锡科晟光子科技有限公司 , 山西天地王坡煤业有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于MEMS光纤技术的矿用猴车综合检测系统，涉及矿用猴车安全管理技术领域，包括：MEMS光纤麦克风，MEMS光纤麦克风与矿用猴车一一对应设置；语音识别模块，语音识别模块与MEMS光纤麦克风通讯连接；分布式光纤数据采集模块，分布式光纤数据采集模块紧密缠绕布设在猴车传输系统中；光纤数据分析模块，光纤数据分析模块与分布式光纤数据采集模块通讯连接；实时控制模块，实时控制模块与语音识别模块和光纤数据分析模块电性连接。本发明的优点在于：可结合矿用猴车上工作人员的状态和猴车传输系统状态的矿用猴车综合检测，实现对于紧急状态下矿用猴车的紧急启停，极大地提高了矿用猴车运行过程的安全性。
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公开(公告)号：CN117253484A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311539558.2
申请日：2023-11-18
申请人： 无锡科晟光子科技有限公司 , 山西天地王坡煤业有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于MEMS光纤技术的矿用猴车综合检测系统，涉及矿用猴车安全管理技术领域，包括：MEMS光纤麦克风，MEMS光纤麦克风与矿用猴车一一对应设置；语音识别模块，语音识别模块与MEMS光纤麦克风通讯连接；分布式光纤数据采集模块，分布式光纤数据采集模块紧密缠绕布设在猴车传输系统中；光纤数据分析模块，光纤数据分析模块与分布式光纤数据采集模块通讯连接；实时控制模块，实时控制模块与语音识别模块和光纤数据分析模块电性连接。本发明的优点在于：可结合矿用猴车上工作人员的状态和猴车传输系统状态的矿用猴车综合检测，实现对于紧急状态下矿用猴车的紧急启停，极大地提高了矿用猴车运行过程的安全性。
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公开(公告)号：CN116249058A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310060518.3
申请日：2023-01-19
申请人： 江苏光微半导体有限公司
IPC分类号： H04R19/00
摘要： 本发明涉及半导体传感器技术领域，具体公开了一种MEMS声敏结构、MEMS声敏结构的制备方法及量子声纹识别探头，包括：四周型硅衬底，中间形成悬空区域；悬膜，边缘固定在所述四周型硅衬底上；反射膜，设置在所述悬膜朝向所述悬空区域的表面；玻璃基板，与所述四周型硅衬底键合连接；所述玻璃基板与所述悬空区域对应位置处形成准直结构，所述准直结构用于确定入射光纤和出射光纤的对准位置。本发明提供的MEMS声敏结构能够有效消除人工调节准直器的操作误差，提升了光纤麦克风的制作效率。
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公开(公告)号：CN118484730B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410942021.9
申请日：2024-07-15
申请人： 无锡科晟光子科技有限公司 , 江苏光微半导体有限公司
IPC分类号： G06F18/2413 , G06F18/10 , G06F18/22 , G06F18/2433 , G01M13/045
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公开(公告)号：CN117968903A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410364891.2
申请日：2024-03-28
申请人： 江苏光微半导体有限公司 , 无锡科晟光子科技有限公司
摘要： 本发明涉及光纤传感技术领域，尤其是一种基于MEMS膜的组装式光纤F‑P声压传感探头。其包括金属套管和金属盖体，所述金属盖体前后两端分别为开口端和封闭端，所述金属套管一端设置凸出的外螺纹段，金属套管一端通过外螺纹段连接金属盖体的开口端；金属盖体的封闭端内侧表面中心设置MEMS膜。本发明采用氮化硅膜和聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成夹心式的MEMS膜，提高了MEMS膜的结构强度和弹性模量，提高了反射率和灵敏度；本发明MEMS膜的周期性环状方向波纹沟道结构能够充分释放MEMS膜的初始应力，再加上夹心式结构的叠加使得MEMS膜在声压作用下具有更大的位移量和高反射率，从而提高其声压检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN116249058B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310060518.3
申请日：2023-01-19
申请人： 江苏光微半导体有限公司
IPC分类号： H04R19/00
摘要： 本发明涉及半导体传感器技术领域，具体公开了一种MEMS声敏结构、MEMS声敏结构的制备方法及量子声纹识别探头，包括：四周型硅衬底，中间形成悬空区域；悬膜，边缘固定在所述四周型硅衬底上；反射膜，设置在所述悬膜朝向所述悬空区域的表面；玻璃基板，与所述四周型硅衬底键合连接；所述玻璃基板与所述悬空区域对应位置处形成准直结构，所述准直结构用于确定入射光纤和出射光纤的对准位置。本发明提供的MEMS声敏结构能够有效消除人工调节准直器的操作误差，提升了光纤麦克风的制作效率。
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公开(公告)号：CN115656341A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211365378.2
申请日：2022-11-03
申请人： 江苏光微半导体有限公司
IPC分类号： G01N29/22
摘要： 本发明涉及量子传感器技术领域，具体公开了一种基于MEMS技术的量子声波传感器及阵列声纹系统，包括：底座，设置在底座上的套管；在套管内沿远离底座的方向依次设置插芯、芯片环和贴棉环，插芯、芯片环和贴棉环均与底座平行，贴棉环与芯片环相邻设置，芯片环与插芯间隔设置；芯片环的中心位置设置MEMS芯片；MEMS芯片朝向插芯的表面形成波纹结构并设置反射金膜；底座上设置光纤端口，入射光纤和出射光纤均能够穿过光纤端口和插芯；入射光纤能够将光源发出的光信号形成入射光投射在MEMS芯片上，经由MEMS芯片表面的反射金膜反射后形成反射光，反射光能够通过出射光纤接收后并传出。本发明提供的基于MEMS技术的量子声波传感器具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN118484730A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410942021.9
申请日：2024-07-15
申请人： 无锡科晟光子科技有限公司 , 江苏光微半导体有限公司
IPC分类号： G06F18/2413 , G06F18/10 , G06F18/22 , G06F18/2433 , G01M13/045
摘要： 本发明涉及机械故障检测技术领域，具体公开了一种轴承故障智能分析方法及装置，通过局部均值分解方法对目标轴承的待测振动信号进行去噪重构，并将待测重构信号输入正常运行信号库，进行相似度匹配，判断目标轴承异常与否，在待测重构信号异常的情况下，将待测重构信号输入异常运行信号库进一步进行相似度匹配，判断异常类型，本发明有效解决了普通操作人员难以有效理解利用轴承振动数据进行轴承故障分析，对轴承故障的判断存在较大主观性与不准确性的问题，提高了轴承故障分析的准确性。
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