一种基板、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN116410000B

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202111678975.6

    申请日:2021-12-31

    摘要: 本发明提供一种基板、制备方法及应用,属于封装基板技术领域。其中,本发明基板的制备方法包括:制备AlN蜂窝,基于所述AlN蜂窝,形成AlN蜂窝‑AlN粉体陶瓷素坯,对所述陶瓷素坯进行烧结处理以得到氮化铝陶瓷基板。本发明通过AlN粉体与AlN蜂窝复合,蜂窝的特殊结构可以使得陶瓷粉体在烧结过程中形成约束,以使AlN粉体在烧结过程中保持压应力的状态,促进陶瓷颗粒的致密化速度,提高陶瓷材料的致密化程度。以及,由于AlN蜂窝和AlN粉体为同一材质,保证了蜂窝结构和陶瓷基体粉体之间的界面结合优异,具有同样的固体传质和扩散机制,不会影响陶瓷的界面强度,同时利用蜂窝结构的增强效果提高陶瓷材料的结构强度,且具有较高的热导率。