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公开(公告)号：CN108538708A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810181249.5
申请日：2018-03-06
申请人： 江苏大学
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 本发明涉及表面处理领域，具体涉及一种激光清洗硅片的工艺。黏胶涂覆在硅片的表面后，颗粒污物被黏胶包围，经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内；黑胶带在黏胶没有干燥之前被涂覆，因此黑胶带与黏胶粘结在一起；脉冲激光束作用在对脉冲激光束吸收率很高的黑胶带上，产生冲击波，在激光的瞬时热力作用下，黑胶带、黏胶和固化在黏胶内的颗粒污物开裂成粒度为100～300微粒的碎片并从硅片的表面飞离，使颗粒污物从硅片的待处理表面分离；硅片经过高压气体吹洗之后，放入50％丙酮溶液进行超声清洗，以清除粘着在硅片表面的黏胶残渣，最终获得具有清洁表面的硅片。本发明可应用于半导体行业硅片的清洗。
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公开(公告)号：CN110742547A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910881662.7
申请日：2019-09-18
申请人： 江苏大学
摘要： 本发明涉及表面处理领域，具体涉及一种玻璃外表面颗粒污染物的激光清洗工艺。主要包括脉冲激光束、流动水膜、涂水装置、透镜和沾有颗粒污物的玻璃。涂水装置流出的流动水膜覆盖在沾有颗粒污物的玻璃反面，颗粒污物被流动水膜包裹，脉冲激光经透镜聚焦后从玻璃另一面透过玻璃直接作用于颗粒污物，颗粒污物吸收脉冲激光能量后在流动水膜中引起空化效应，从而产生巨大的冲击爆炸力，当冲击爆炸力大于吸附力时，颗粒污物从表面脱落，脱落颗粒物随着流动的水膜一起流出。本发明可应用于高楼房屋的外墙玻璃清洗。
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公开(公告)号：CN108580441A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810175276.1
申请日：2018-03-02
申请人： 江苏大学
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本发明涉及表面处理领域，具体涉及一种激光清洗透镜的方法。黏胶涂覆在透镜的表面后，颗粒污物被黏胶包围，经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内；吸收层在黏胶没有干燥之前被涂覆，因此吸收层与黏胶粘结在一起；脉冲激光束作用在对脉冲激光束吸收率很高的吸收层上，产生冲击波，在激光的瞬时热力作用下，吸收层、黏胶和固化在黏胶内的颗粒污物开裂成粒度为100～300微粒的碎片并从透镜的表面飞离，使颗粒污物从透镜的待处理表面分离；透镜经过高压气体吹洗之后，放入丙酮溶液进行超声清洗可以清除粘着在透镜表面的黏胶残渣，最终获得具有清洁表面的透镜。本发明可应用于精密光学透镜的清洗。
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公开(公告)号：CN108538709A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810182672.7
申请日：2018-03-06
申请人： 江苏大学
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 本发明涉及表面处理领域，具体涉及一种高效激光清洗硅片工艺。黏胶涂覆在硅片的表面后，颗粒污物被黏胶包围，经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内；黑胶带在黏胶没有干燥之前被涂覆，因此黑胶带与黏胶粘结在一起；脉冲激光束作用在对脉冲激光束吸收率很高的黑胶带上，产生冲击波，在激光的瞬时热力作用下，黑胶带、黏胶和固化在黏胶内的颗粒污物开裂成粒度为100～300微粒的碎片并从硅片的表面飞离，使颗粒污物从硅片的待处理表面分离；硅片经过高压气体吹洗之后，放入丙酮溶液进行超声清洗，以清除粘着在硅片表面的黏胶残渣，最终获得具有清洁表面的硅片。本发明可应用于半导体行业硅片的清洗。
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