公开(公告)号：CN116759324B

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202311026573.7

申请日：2023-08-15

申请人： 江苏鲁汶仪器股份有限公司

发明人： 胡少谦 ,  桑康 ,  陈龙保 ,  胡冬冬 ,  冯家莉 ,  张风林 ,  向贵鑫 ,  许开东

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/71 ,  G01N21/01 ,  G01N21/03 ,  G01N21/13

摘要： 本发明公开了一种OES终点检测装置和半导体芯片加工装置，OES终点检测装置包括：密封端盖，用于密封真空腔室，真空腔室用于放置测试样品，密封端盖具有安装通孔；检测探头，安装于安装通孔处，并且检测探头用于对真空腔室内的测试样品进行光谱测试，并得到光谱信号；透明隔离件，可拆卸密封安装于安装通孔处，并位于检测探头与真空腔室内部之间，且沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件。由于沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件，且至少一个靠近检测探头的透明隔离件密封遮挡安装通孔，因此，在更换被污染的透明隔离件时，另外的透明隔离件还在密封安装通孔，可保证真空腔室内的密封性，不会影响OES终点检测装置的正常使用。

公开(公告)号：CN116759324A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202311026573.7

申请日：2023-08-15

申请人： 江苏鲁汶仪器股份有限公司

发明人： 胡少谦 ,  桑康 ,  陈龙保 ,  胡冬冬 ,  冯家莉 ,  张风林 ,  向贵鑫 ,  许开东

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/71 ,  G01N21/01 ,  G01N21/03 ,  G01N21/13

摘要： 本发明公开了一种OES终点检测装置和半导体芯片加工装置，OES终点检测装置包括：密封端盖，用于密封真空腔室，真空腔室用于放置测试样品，密封端盖具有安装通孔；检测探头，安装于安装通孔处，并且检测探头用于对真空腔室内的测试样品进行光谱测试，并得到光谱信号；透明隔离件，可拆卸密封安装于安装通孔处，并位于检测探头与真空腔室内部之间，且沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件。由于沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件，且至少一个靠近检测探头的透明隔离件密封遮挡安装通孔，因此，在更换被污染的透明隔离件时，另外的透明隔离件还在密封安装通孔，可保证真空腔室内的密封性，不会影响OES终点检测装置的正常使用。