Micro-LED芯片及其制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118571999A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410722326.9

    申请日:2024-06-05

    IPC分类号: H01L33/08 H01L33/38 H01L33/00

    摘要: 本发明公开了一种Micro‑LED芯片及其制备方法,涉及半导体光电器件领域。其中,Micro‑LED芯片的制备方法包括以下步骤:S1、提供外延片,所述外延片包括第一衬底和设于所述衬底上的蓝光外延层、绿光外延层和红光外延层;S2、刻蚀所述外延片,形成多个隔离沟槽和多个导电通孔;所述隔离沟槽将所述外延片划分为蓝光发光区、绿光发光区和红光发光区;所述导电通孔位于所述蓝光发光区、绿光发光区和/或红光发光区,导电通孔用于使多个N电极和/或P电极与蓝光外延层、绿光外外延层或红光外延层完成导电连接;S3:在步骤S2得到的外延片上形成绝缘反射层,并将导电通孔底部的绝缘反射层去除;S4:在步骤S3得到的外延片上形成P电极和N电极。实施本发明,可简化Micro‑LED的转移工序,提升其良率。

    一种红外反极性发光二极管外延片、制备方法及LED

    公开(公告)号:CN116504890A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310769325.5

    申请日:2023-06-28

    摘要: 本发明提供了一种红外反极性发光二极管外延片、制备方法及LED,外延片包括:衬底及依次沉积在所述衬底上的第一半导体层、量子阱层以及第二半导体层;所述量子阱层包括M个周期性交替排布的InGaAs阱层、AlGaAs阱层保护层、AlGaAsP垒层以及AlGaAs吸收缓冲层,所述AlGaAs吸收缓冲层的生长速度为所述AlGaAsP垒层的生长速度的1/4~1/3,本发明阻止了AlGaAsP垒层中的PH3侵入InGaAs阱层中,还同时消除阱垒之间的模糊界面的问题,使InGaAs阱层的生长质量得到提升,有效地提升了外延片的可靠性能与光电效率。

    基于微反射镜的LED芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN118763163A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202411252606.4

    申请日:2024-09-09

    IPC分类号: H01L33/46 H01L33/00 H01L33/22

    摘要: 本发明公开了一种基于微反射镜的LED芯片及其制备方法,涉及半导体光电器件领域。LED芯片的制备方法包括以下步骤:提供外延片;刻蚀外延片表面形成多个凸起;形成介质层;抛光以暴露凸起;在凸起上、凹槽内的介质层上形成透明导电层;在透明导电层上形成金属反射层;在金属反射层上形成键合层;与第二衬底键合;去除第一衬底,暴露N型半导体层;在N型半导体层上形成N电极;在第二衬底上形成P电极,得到LED晶圆;将LED晶圆切割,得到基于微反射镜的LED芯片。实施本发明,可以提高LED芯片的发光效率。

    一种红外反极性发光二极管外延片、制备方法及LED

    公开(公告)号:CN116504890B

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202310769325.5

    申请日:2023-06-28

    摘要: 本发明提供了一种红外反极性发光二极管外延片、制备方法及LED,外延片包括:衬底及依次沉积在所述衬底上的第一半导体层、量子阱层以及第二半导体层;所述量子阱层包括M个周期性交替排布的InGaAs阱层、AlGaAs阱层保护层、AlGaAsP垒层以及AlGaAs吸收缓冲层,所述AlGaAs吸收缓冲层的生长速度为所述AlGaAsP垒层的生长速度的1/4~1/3,本发明阻止了AlGaAsP垒层中的PH3侵入InGaAs阱层中,还同时消除阱垒之间的模糊界面的问题,使InGaAs阱层的生长质量得到提升,有效地提升了外延片的可靠性能与光电效率。

    一种LED外延片及其制备方法、LED芯片

    公开(公告)号:CN118398735A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410535600.1

    申请日:2024-04-30

    IPC分类号: H01L33/14 H01L33/00

    摘要: 本发明提供一种LED外延片及其制备方法、LED芯片,其中LED外延片包括N型半导体层、发光层、P型半导体层和电子阻挡层,所述外延片还包括设置在所述N型半导体层之前的N侧电子限制层和设置在所述电子阻挡层之后的P侧电子限制层,其中,所述N侧电子限制层和所述P侧电子限制层均为周期性交叠结构层,且均包括第一电子限制子层和第二电子限制子层,其中,所述第一电子限制子层和所述第二电子限制子层均为AlxIn1‑xP层,所述N侧电子限制层的所述第二电子限制子层中Al组份随周期数递增,所述P侧电子限制层的所述第二电子限制子层中Al组份随周期数递减。本发明中的LED外延片解决了现有技术中的黄绿光外延片发光效率低,老化亮度易衰减问题。

    一种反极性发光二极管的制备方法

    公开(公告)号:CN117276427A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311390571.6

    申请日:2023-10-25

    摘要: 本发明公开了一种反极性发光二极管的制备方法,包括以下步骤:一种反极性发光二极管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一GaAs衬底,在所述GaAs衬底上依次生长缓冲层、腐蚀截止层、N型半导体层、多量子阱层、P侧波导层、P型限制层、过渡层和P型欧姆接触层,得到发光二极管外延片;对所述发光二极管外延片进行反极性处理,得到反极性发光二极管。本发明的制备方法能够提高反极性发光二极管的电流扩展性能、发光功率及大功率下的可靠性。